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詳細(xì)介紹
型號項目 | DH-8 | DH-14 | DH-18 | DH-26 | DH-26A |
| 真空室尺寸 mm | Φ800×1100 | Φ1250×1500 | Φ1600×1750 | Φ1600×2250 | Φ2600×2100 |
| 多弧靶數(shù)量 只 | 8 | 14 | 18 | 26 | 26 |
| 極限壓力 Pa | 1.5×10-3 | ||||
| 工作壓力 Pa | 1.2×10-2 | ||||
| 恢復(fù)真空時間 min | 15（大氣～10-3Pa） | ||||
| 工作轉(zhuǎn)動 rpm | 公轉(zhuǎn)、自轉(zhuǎn)/二次自轉(zhuǎn) | ||||
| 工作氣體 | Ar 純度99.99% | ||||
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