產品特點：

·位移過程的高穩(wěn)定性

·最小單位位移達62.5納米

·方便的旋鈕調節(jié)移動設計

·3軸電動控制行程25mm

·第4個球形軸結構供微電極在X，Y，Z軸心點移動，旋轉DIP開關可進行角度設定

·ROE按鈕可使微電極回到Home位置以便更換，或使其從當前位置移動至工作位置處

·ROE可使微電極以微米級單位在軸向連續(xù)移動

·DIP旋轉器為旋轉ROE在軸向上的移動進行角度方向的選擇

·緊湊型模塊化設計方便設置時的需要

·通用支架系統(tǒng)幫助固定夾持器和微電極

·設備附帶安裝適配器

技術參數(shù)：

行  程：3軸電動控制行程1英寸（25mm）

單位位移：0.0625, 0.125, 0.25, 0.5, 1.0 and 2.0(um/ustep) 6檔可選，最小單位位移62.5納米，可旋轉編碼器旋鈕得到更大單位位移。

速率：2mm/s

傳動誤差：小于0.5μm/20h

傳動裝置：完整的微型步進電機消隙裝置

尺  寸

主  機：4×5.5×6（in）10×15×15.5（cm）

控制器：16×11×3.75（in）40.6×28×9.6（cm）

重  量

主  機：2.95lbs/1.3kg

控制器：10lbs/4.5kg

電源電壓：115/230V  50/60Hz