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日本雅馬拓YAMATO等離子灰化機(jī)PR510

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更新時(shí)間：2021-09-21 10:01:27瀏覽次數(shù)：396

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特點(diǎn)大口徑（215mm）石英反應(yīng)腔

詳細(xì)介紹

特點(diǎn)
大口徑（Φ215mm）石英反應(yīng)腔。
小型一體化設(shè)計(jì)。
操作簡(jiǎn)單的觸摸屏方式（PR510型）。
型號(hào) PR510
模式 DP模式，桶型
高頻輸出功率 Max500W
頻率 13.56MHz
回調(diào)方式 自動(dòng)協(xié)調(diào)
反應(yīng)腔 石英①215 x305mm
反應(yīng)氣體 2系統(tǒng)（O2/CF4)
控制 觸摸屏自動(dòng)控制
配管材質(zhì) 不銹鋼、特氟龍
外形尺寸 參照規(guī)格書
重量 參照規(guī)格書
電源 三相AC200V8A
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