www.亚洲337p,中文AV日日,日本在线不卡1

參考價(jià)	面議

產(chǎn)品簡介

晶元半導(dǎo)體臺(tái)階測高顯微鏡介紹VMM測量顯微鏡系列是觀察、測量和處理系統(tǒng)化的顯微鏡陣容

詳細(xì)介紹

晶元半導(dǎo)體臺(tái)階測高顯微鏡-VMM系列-上海思長約光學(xué)儀器有限公司

晶元半導(dǎo)體臺(tái)階測高顯微鏡介紹
VMM測量顯微鏡系列是觀察、測量和處理系統(tǒng)化的顯微鏡陣容。
特點(diǎn)
● 視場寬闊，可得清晰無閃爍正像
● 高精度測量，同時(shí)具有大測量范圍和高精度，適用于各種測量
● 可選用高NA物鏡，滿足長工作距離的測量要求
● 照明裝置（反射/透射）可選用高亮度LED的照明或鹵素照明
● 利用可變孔徑光闌進(jìn)行無衍射觀察測量
● 各類尺寸的標(biāo)準(zhǔn)工作臺(tái)
● 快速釋放裝置便于測量工件大或測量工件數(shù)量多的快速移動(dòng)工作臺(tái)
● 高位目鏡觀察
● 便捷CCD圖像成像，可選配多種CCD數(shù)碼相機(jī)
觀察成像


偏光觀察觀察過濾后只有一個(gè)方向振動(dòng)的光。適于觀察具有特殊光學(xué)特性的材料，如礦石和液晶。	微分干涉對(duì)比觀察在檢測金屬、液晶和半導(dǎo)體表面的微小劃痕和階差時(shí)很有效。

暗視場觀察擋住直射到物體上的光，只觀察散射光，通過高對(duì)比度能觀察到在亮視場看不到的劃痕和粉末。	亮視場觀察最普通的觀察方式，直接觀察從工件表面反射的光。

新功能增強(qiáng)Z軸測量精度
● 輔助對(duì)焦（FA）
新近研發(fā)的分光棱鏡輔助對(duì)焦（FA）提供更銳利的圖案，可在Z軸測量期間提供精確對(duì)焦。由于不同物鏡焦深差異導(dǎo)致的測量


對(duì)焦	前端對(duì)焦	后端對(duì)焦

規(guī)格
● 無限遠(yuǎn)系統(tǒng)，管鏡200mm
● 傾斜角度30°，瞳孔距離55-75mm，正像
● 高眼點(diǎn)，大視場WF10/22
● 鼻輪螺紋M26X0.706
● Z軸的長度180mm，微動(dòng)精度0.002mm，測量精度（at20℃），XY-軸的（2.5+0.02L）um，L=測量長度（mm）在沒有放物體分辨率為0.001mm
● 12V50W反射鹵素?zé)?
● 3W高亮度LED光源
● 可配置輔助調(diào)焦裝置（FA）

技術(shù)參數(shù)

型號(hào)		VMM-8Ⅰ型	VMM-8Ⅱ型	VMM-8 Ⅲ型	VMM-8 Ⅳ型	VMM-12Ⅰ型	VMM-12Ⅱ型	VMM-12Ⅲ型	VMM-12 Ⅳ型
鏡筒		1×光學(xué)管徑，雙目目鏡，帶有CCD1/2靶面接口
觀察圖像		正像
觀測方法	輔助對(duì)焦系統(tǒng)	-	-	頭部或照明器FA系統(tǒng)	頭部或照明器FA系統(tǒng)	-	-	頭部或照明器FA系統(tǒng)	頭部或照明器FA系統(tǒng)
	微分干涉對(duì)比	可選微分觀測對(duì)比
目鏡		10X(視場直徑：25mm)，可選十字分劃板，可選：視場直徑：22mm
物鏡(100x選配)		95mm 2x, 5x,10x, 20x,50x	60mm 5x, 10x,20x, 50x	95mm 2x, 5x,10x, 20x,50x	60mm 5x, 10x,20x, 50x	95mm 2x, 5x,10x, 20x,50x	60mm 5x, 10x,20x, 50x	95mm 2x, 5x,10x, 20x,50x	60mm 5x, 10x,20x, 50x
照明裝置	反射照明	內(nèi)置孔徑光闌，LED光源，無極亮度調(diào)節(jié)，可選鹵素照明
	透射照明	白色LED照明，無極亮度調(diào)節(jié)
工作臺(tái)	XY測量范圍	200*100	200*100	200*100	200*100	300*200	300*200	300*200	300*200
	快速釋放裝置	X軸和Y軸（標(biāo)配）
	調(diào)零開關(guān)	X軸和Y軸（標(biāo)配）
數(shù)顯計(jì)器	顯示軸	2軸或3軸
	分辯率	0.0005mm（可選0.00002mm）


VMM-8-Ⅰ型主圖	VMM-8-Ⅱ型主圖

VMM-8-Ⅲ型FA主圖	VMM-8-Ⅳ型FA主圖

VMM-12-Ⅰ型主圖-95mm	VMM-12-Ⅱ型主圖-60mm

VMM-12-Ⅲ型FA主圖-95mm	VMM-12-Ⅳ型FA主圖-60mm

介紹
95MM金相長工作距離明場物鏡。
特點(diǎn)
● 可見光成像
● 無限遠(yuǎn)光學(xué)系統(tǒng)，管徑焦距200mm
● 物鏡螺紋M26 x 0.706
技術(shù)參數(shù)

平場復(fù)消色差M PLAN APO L	數(shù)值孔徑N.A.	工作距離W.D.	焦距f	景深D.F.	分辨率R	視場
平場復(fù)消色差M PLAN APO L	數(shù)值孔徑N.A.	工作距離W.D.	焦距f	景深D.F.	分辨率R	目鏡(WF10/24)	1/2"CCD攝像頭
2X	0.055	34.6	100	91μ	5μ	Φ12	2.4x3.2
5X	0.14	45	40	14μ	2μ	Φ4.8	0.96x1.28
10X	0.28	34	20	3.5μ	1μ	Φ2.4	0.48x0.64
20X	0.29	30.8	10	3.5μ	1μ	Φ1.2	0.24x0.32
50X	0.42	20.5	4	1.6μ	0.7μ	Φ0.45	0.10x0.13
100X	0.55	12.5	2	0.9μ	0.5μ	Φ0.24	0.05x0.06

介紹
60MM金相平場半復(fù)消色差物鏡。
特點(diǎn)
● 可見光成像
● 物鏡螺紋M26 x 0.706
技術(shù)參數(shù)

名稱	物鏡					目鏡(WF10/25)
名稱	數(shù)值孔徑N.A.	有效工作距離W.D.(mm)	焦距f′(mm)	分辨率R(μm)	物理焦深±Δp(μm)	物方視場(mm)	焦點(diǎn)深度±Δ(μm)
5X	0.15	11.6	40	2.1	16.3	Φ5	38.3
10X	0.3	6.3	20	0.9	3.1	Φ2.5	7.8
20X	0.4	10.3	10	0.69	1.8	Φ1.25	3.5
50X	0.8	2	4	0.34	0.4	Φ0.5	0.8
100X	0.80	1.96	2	0.34	0.2	Φ0.25	0.6

介紹
45MM金相平場消色差明場物鏡。
特點(diǎn)
● 可見光成像
● 無限遠(yuǎn)光學(xué)系統(tǒng)，管徑200mm
● 物鏡螺紋M20.32
技術(shù)參數(shù)

名稱	物鏡					目鏡(WF10/25)
名稱	數(shù)值孔徑N.A.	有效工作距離W.D.(mm)	焦距f′(mm)	分辨率R(μm)	物理焦深±Δp(μm)	物方視場(mm)	焦點(diǎn)深度±Δ(μm)
5X	0.13	11.6	40	2.1	16.3	Φ5	38.3
10X	0.3	6.4	20	0.9	3.5	Φ2.5	7.8
20X	0.4	11.1	10	0.7	1.6	Φ1.25	3.5
50X	0.55	8.2	4	0.5	10.9	Φ0.5	1.4
100X	0.80	2	2	0.4	0.4	Φ0.25	0.7

微分干涉介紹
微分干涉DIC在正交偏光的基礎(chǔ)上，插入DIC棱鏡，即可進(jìn)行DIC微分干涉相襯觀察。使用DIC技術(shù)，可以使物鏡表面微小的高低差產(chǎn)生明顯的浮雕效果，極大的提高圖像的對(duì)比度。
5X、10X、20X專為DIC設(shè)計(jì)，使得整個(gè)視場的干涉色一致，微分干涉效果非常出色，高倍物鏡DIC效果也較好。