行程

100mm

150mm

200mm

300mm

400mm

500mm

600mm

臺面尺寸

70*70mm

導(dǎo)軌形式

精密線性滑塊導(dǎo)軌

螺桿規(guī)格

精密滾珠螺桿（導(dǎo)程4mm）

滾珠螺桿（導(dǎo)程10mm）

步進(jìn)電機(jī)（1.8°）

兩相39步進(jìn)電機(jī)

主體材料

鋁合金

表面處理

陽極氧化發(fā)黑

水平負(fù)載

25kg

20kg

自重(KG)

2.8kg

3.5kg

3.8kg

4.4kg

5kg

5.8kg

6.5kg

速度

40mm/s

50mm/s

分辨率

25μm（無細(xì)分）1.25μm（20細(xì)分）

50μm（無細(xì)分）2.5μm（20細(xì)分）

重復(fù)定位精度

5μm

定位精度

10μm

直線度

5μm

6μm

8μm

偏擺

20"

25"

30"

俯仰

25"

50"

60"

回程間隙

3μm

丟步運(yùn)動

3μm

5μm