行程

100mm

150mm

200mm

300mm

400mm

500mm

600mm

臺(tái)面尺寸

120X130mm

導(dǎo)軌形式

精密線性滑塊導(dǎo)軌

螺桿規(guī)格

精密滾珠螺桿（導(dǎo)程5mm）

滾珠螺桿（導(dǎo)程10mm）

步進(jìn)電機(jī)（1.8°）

兩相57步進(jìn)電機(jī)，電流2.4A

主體材料

鋁合金

表面處理

陽(yáng)極氧化發(fā)黑

水平負(fù)載

30kg

25kg

自重(KG)

6.4kg

7kg

7.8kg

9.8kg

10.8kg

12kg

13.2kg

速度

30mm/s

60mm/s

分辨率

25μm（無(wú)細(xì)分）1.25μm（20細(xì)分）

50μm（無(wú)細(xì)分）2.5μm（20細(xì)分）

重復(fù)定位精度

5μm

定位精度

10μm

直線度

5μm

6μm

8μm

偏擺

20"

25"

30"

俯仰

25"

50"

60"

回程間隙

3μm

丟步運(yùn)動(dòng)

3μm

5μm