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詳細(xì)介紹
SuperView W2光學(xué)3D表面輪廓儀是一款用于對(duì)各種精密器件及材料表面進(jìn)行亞納米級(jí)測(cè)量的檢測(cè)儀器。它是以白光干涉技術(shù)為原理、結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對(duì)器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，通過系統(tǒng)軟件對(duì)器件表面3D圖像進(jìn)行數(shù)據(jù)處理與分析，并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù)，從而實(shí)現(xiàn)器件表面形貌3D測(cè)量的光學(xué)檢測(cè)儀器。
SuperView W2光學(xué)3D表面輪廓儀可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測(cè)、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工、微納材料及制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、工、科研院所等領(lǐng)域中?？蓽y(cè)各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級(jí)別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等，提供依據(jù)ISO/ASME/EUR/GBT四大國(guó)內(nèi)外標(biāo)準(zhǔn)共計(jì)300余種2D、3D參數(shù)作為評(píng)價(jià)標(biāo)準(zhǔn)。
系統(tǒng)配置：
光源：白光/綠光LED（單雙可選）
影像系統(tǒng)：1024×1024
干涉物鏡：2.5×，5×、10×、20×、50×、100×
XY平臺(tái)移動(dòng)范圍：200mm×200mm
控制方式：電動(dòng)
Z軸行程：100mm
Z向掃描范圍：10mm
Z向掃描速度：>45μm/s
Z向分辨率：0.1nm
可測(cè)樣品反射率：0.05%-
水平調(diào)整：±6°電動(dòng)
粗糙度RMS重復(fù)性：0.005nm
主要特點(diǎn)：非接觸式無損檢測(cè)，一鍵分析、快速高效
應(yīng)用領(lǐng)域：
對(duì)各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺(tái)階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測(cè)量和分析。
半導(dǎo)體制造（減薄粗糙度、鐳射槽道輪廓）
光學(xué)元器件.曲率&輪廓尺寸&粗糙度
3C電子（玻璃屏）.粗糙度
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