優(yōu)點

• 擁有成本更低，預(yù)熱速度快 50%，節(jié)能，低功耗
• 易于集成，各種滿刻度、法蘭和接口，標(biāo)配兩個設(shè)定點
• 輕松一鍵調(diào)零或遠程信號調(diào)零指令，可調(diào)零點偏移
• 診斷端口用于快速維修和維護
• 兩年保修服務(wù)，*的加熱概念和真空計保護延長了使用壽命
• 的信號穩(wěn)定性和可重復(fù)性，即使是的等離子應(yīng)用，都無需長期執(zhí)行重新校準(zhǔn)
• 合規(guī)性與標(biāo)準(zhǔn)：CE、EN、UL、SEMI、RoHS

典型應(yīng)用

• 用于刻蝕、CVD、PVD 和其他半導(dǎo)體制造過程
• 化學(xué)及腐蝕真空過程
• 一般薄膜和真空過程
• 基準(zhǔn)傳感器用于監(jiān)控測試儀器是否符合標(biāo)準(zhǔn)
• 符合傳遞標(biāo)準(zhǔn)，確保測量可追溯性

新聞

配備 EtherCAT 數(shù)字接口現(xiàn)在可用！