優(yōu)點(diǎn)

• 測(cè)量范圍廣，從 1 x 10^-9 至 1 x 10^-2 毫巴（7.5 x 10^-10 至 7.5 x 10^-3 托）
• 全金屬冷陰極傳感器（潘寧），帶陶瓷饋入裝置
• 創(chuàng)新的電極幾何形狀提供的點(diǎn)火屬性
• 等離子點(diǎn)火后降低的高壓和鈦陰極板可減少污染危險(xiǎn)，即使在有氬氣的濺射運(yùn)行中
• 陽(yáng)極環(huán)和鈦陰極可輕松進(jìn)行清潔或更換
• 最小化真空計(jì)附近的磁場(chǎng)強(qiáng)度
• 用于電源接通和等離子體點(diǎn)火的 LED 指示器
• 對(duì)數(shù)模擬輸出信號(hào)
• 現(xiàn)場(chǎng)總線接口（Profibus DP、DeviceNet）允許使用網(wǎng)絡(luò)通信將真空計(jì)輕松集成到真空系統(tǒng)中

典型應(yīng)用

• 高真空壓力監(jiān)控
• 蒸發(fā)濺射系統(tǒng)
• 高真空范圍內(nèi)的一般真空測(cè)量和控制