優(yōu)點(diǎn)

• 測(cè)量范圍非常廣，從 5×10^-10 毫巴至大氣壓（3.8×10^-10 托至大氣壓）
• 10^-8 … 10^-2 毫巴過程壓力范圍內(nèi) 5% 的優(yōu)良可重復(fù)性
• 皮拉尼聯(lián)鎖保護(hù)貝阿德-阿爾珀特系統(tǒng)在高壓操作下單絲過早燒毀和過度污染
• 使用壽命長(zhǎng)的氧化釔銥絲
• 備有可選的圖形顯示屏和現(xiàn)場(chǎng)總線接口
• 高真空皮拉尼自動(dòng)調(diào)節(jié)，減少操作員干預(yù)
• RoHS 合規(guī)
• 低真空和超高真空范圍內(nèi)的一般真空測(cè)量和控制

典型應(yīng)用

• 對(duì)半導(dǎo)體過程和傳輸腔室的壓力測(cè)量
• 工業(yè)鍍膜
• 低真空和超高真空范圍內(nèi)的一般真空測(cè)量和控制