詳細介紹 優(yōu)點測量范圍非常廣，從 5×10-10 毫巴至大氣壓（3.8×10-10 托至大氣壓）10-8 … 10-2 毫巴過程壓力范圍內(nèi) 5% 的優(yōu)良可重復性皮拉尼聯(lián)鎖保護貝阿德-阿爾珀特系統(tǒng)在高壓操作下單絲過早燒毀和過度污染使用壽命長的氧化釔銥絲備有可選的圖形顯示屏和現(xiàn)場總線接口高真空皮拉尼自動調(diào)節(jié)，減少操作員干預RoHS 合規(guī)低真空和超高真空范圍內(nèi)的一般真空測量和控制典型應(yīng)用對半導體過程和傳輸腔室的壓力測量工業(yè)鍍膜低真空和超高真空范圍內(nèi)的一般真空測量和控制
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