優(yōu)點

• HPG400 可節(jié)省成本和工具空間，降低真空系統(tǒng)安裝與設(shè)置的復(fù)雜性
• 高壓熱電離真空計可以準(zhǔn)確可靠地測量 1×10^-5 … 1 毫巴范圍內(nèi)的壓力，進而改善過程控制
• 用戶可選的熱離子發(fā)射在 5×10^-2 至 1 毫巴之間啟動
• 皮拉尼聯(lián)鎖保護熱絲，防止過早燒毀
• 備有可選的圖形顯示屏和現(xiàn)場總線接口
• 高真空皮拉尼自動調(diào)節(jié)，減少操作員干預(yù)
• RoHS 合規(guī)

典型應(yīng)用

• 半導(dǎo)體制造、電子和媒介產(chǎn)業(yè)中的濺射應(yīng)用
• 工業(yè)鍍膜
• 低真空和高真空范圍內(nèi)的一般真空測量和控制