詳細介紹 優(yōu)點HPG400 可節(jié)省成本和工具空間,降低真空系統(tǒng)安裝與設置的復雜性高壓熱電離真空計可以準確可靠地測量 1×10-5 … 1 毫巴范圍內(nèi)的壓力,進而改善過程控制用戶可選的熱離子發(fā)射在 5×10-2 至 1 毫巴之間啟動皮拉尼聯(lián)鎖保護熱絲,防止過早燒毀備有可選的圖形顯示屏和現(xiàn)場總線接口高真空皮拉尼自動調(diào)節(jié),減少操作員干預RoHS 合規(guī)典型應用半導體制造、電子和媒介產(chǎn)業(yè)中的濺射應用工業(yè)鍍膜低真空和高真空范圍內(nèi)的一般真空測量和控制