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詳細(xì)介紹
美國(guó)AE公司 質(zhì)量流量計(jì)（FC-7700系列）
優(yōu)點(diǎn)：高性?xún)r(jià)比
響應(yīng)速度快：小于2秒
的可靠性：使用一年以上，零點(diǎn)漂移小于滿量程的0.5%
易于集成：標(biāo)準(zhǔn)接頭和尺寸
出眾的效果：高品質(zhì)膜層與蝕刻特性
特性
非金屬密封
VCR連接
量程范圍從10SCCM到150SLM
常閉或常開(kāi)式電磁閥
允許清洗流量：高達(dá)校準(zhǔn)值的100倍
漏率1×10-6 atm-cc/秒(氦)
型號(hào)參數(shù)：
類(lèi)別 | FC-7700、7700C、7700CD、7700CU | FC-7710、7710C、7710CD、7710CU | FC-7720、7720C、7720CD |
滿量程范圍 | 10sccm到5slm | 6到20slm | 35到150slm |
20到50slm | |||
響應(yīng)時(shí)間 | 到達(dá)設(shè)定點(diǎn)±2%所需時(shí)間<2秒 | 到達(dá)設(shè)定點(diǎn)±2%所需時(shí)間<3秒 | |
精度 | 滿量程±1%范圍內(nèi) | 滿量程±2%范圍內(nèi) | |
線性度 | 滿量程±0.5%范圍內(nèi) | 滿量程±0.5%范圍內(nèi) | 滿量程±1%范圍內(nèi) |
滿量程±1%范圍內(nèi) | |||
重復(fù)精度 | 滿量程±0.2%范圍內(nèi) | ||
漏率 | 值1×10-6 atm-cc/秒(氦) | ||
控制范圍 | 滿量程的5到 | ||
壓差 | 7至40 psi | 10至40 psi(517至2069托) | 21至40 psi(1086至2069托) |
(362至2069托) | 14至40 psi(724至2069托) | ||
正常工作壓力 | 50 psi(2586托) | ||
入口壓力 | 值150 psi(7740托) | ||
溫度范圍 | 5至45℃ | ||
注：可根據(jù)不同客戶(hù)的需求，選擇全金屬密封的FC-7800CD系列，數(shù)字型的FC-D770系列，全金屬密封及數(shù)字型的FC-D980系列。
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