測量范圍

Z軸（縱向）

50mm

X軸（橫向）

100mm

精度

Z軸指示精度

±(2.+12HI/100)um/5mm范圍、20mm范圍、±（3.5+14HI/1000um/50范圍H：測量高度（mm）

測量分辨率

0.1um/5mm范圍、0.4um/20mm范圍、1um/50mm范圍

X軸指示精度

±（1+2L/100）um L：測量長度（mm）

測量分辨率

0.04um

直線度精度

1um/100mm

測量方式

Z軸

差動電壓

X軸

摩爾干涉光尺

記錄

縱倍率

0.01-10,000.000倍（可以自動）

橫倍率

0.01-10,000.000倍（可以自動）

速度

立柱上下移動速度（Z軸）

10mm/s

測量速度（X軸）

0.03-20mm/s

測量間距

1um

測量點數(shù)

100,000點（10形狀）

測針半徑

0.025mmR

測量力

30mN以下

測量進給方向

拉·推·兩方向

測量姿勢

上·下、兩方向

計算處理功能

點、直線、圓、部分圓、橢圓、距離、坐標差、坐標差、直交/坐標差顯示、

交叉要素（點-直線、點--圓、點-橢圓、直線-直線、圓-圓、圓-橢圓、橢圓-橢圓）坐標控制（原點設定、X軸設定、平行移動、回轉(zhuǎn)移動）

面積計算、Overpin計算、尺寸線顯示功能、計算結(jié)果與設計值對比、鏡面反轉(zhuǎn)、形狀合成功能、宏功能、自動要素判定、計算點的重復功能、工件軌跡功能、峰值谷值搜尋功能、自動操作記錄·回放功能

各要素

電源

單相AC100V±10% 50/60Hz

耗電量

400VA

設置尺寸

1250（W）*850（D）*1500（H）mm

質(zhì)量

125kg