行程（mm）

100×100

外型尺寸（mm）

485×235×579

重量（kg）

30

承重（kg）

3

圖像傳感器

工業(yè)相機

鏡頭

雙遠心雙倍率光學鏡頭

視野

φ100 / 20×20（mm）

檢測精度

5 / 2μm

光柵尺

0.5μm Renishaw 光柵尺

顯示單位

0.1（μm）

景深

24 / 1.4(mm)

Z軸有效行程

47 / 35(mm)

光源

輪廓光*

平行輪廓光（綠色LED）

表面光

程控式可升降2環(huán)4區(qū)白色LED冷光源多角度照明，各段獨立控制，256級亮度可調(diào)

同軸光

選配，外置同軸光視野50×50mm

圖像處理

TZTEK圖像分析方法，256灰度等級，10:1亞像素處理技術

工作臺升降范圍

35（mm）

軟件

Vispec軟件平臺（VMQ版）

工作環(huán)境

溫度20°C±2°C，濕度30～80%

振動<>

電源

100~240V，50/60Hz，單相，100W