在半導(dǎo)體制造中，使用洗滌溶液從晶片表面去除金屬和其他污染物的洗滌過程占整個工藝過程的約20%-30%。目前，洗滌溶液的更換頻率通常基于使用時間來確定的。然而，近年來，降低制造成本和減少環(huán)境影響的需求要求更有效地使用洗滌溶液。因此，有必要實時監(jiān)測污染程度。為了滿足這些需求，島津一直在研究LIBS技術(shù)，因為LIBS技術(shù)的研發(fā)可以利用島津自身廣泛的激光光學(xué)和光譜技術(shù)優(yōu)勢蒸餾法測氨氮的具體操作方法。 LIBS是一種可以輕松同時測量多個元素的技術(shù)。當(dāng)樣品被激光照射時，它通過樣品表面的熱蒸發(fā)產(chǎn)生等離子體。該等離子體發(fā)出特征光是樣品所*的。因此，可以通過檢測所得光譜來測量元素。通過激光照射在特殊板上蒸發(fā)至干燥的樣品產(chǎn)生等離子體，然后檢測從等離子體發(fā)射的光以識別和定量樣品中包含的金屬元素。檢測限為ppm級別。該技術(shù)基于LIBS測量原理，提供世界上高的靈敏度水平(根據(jù)島津截至2018年7月的調(diào)查)。目前的原型機尺寸為1 m×1 m蒸餾法測氨氮的具體操作方法，可與半導(dǎo)體晶圓清洗系統(tǒng)連接。從取樣到測量洗滌溶液的整個過程是*自動化的，并且可以在大約一分鐘內(nèi)完成12種痕量金屬組分的同時測量，例如銅、鋁和鈦。由于能夠更好地理解合適的洗滌溶液更換頻率，使得該技術(shù)的實際應(yīng)用將提供諸如提高產(chǎn)率和降低制造成本等益處。