結合多年的探針臺量測設備經(jīng)驗所開發(fā)出更方便更有效率的量測系統(tǒng)，高完整性廣泛應用于Semiconductor、LED/MEMS等各領域…

半自動量測探針臺特點：

自動XYZ移動平臺
搭配R軸手動校正
精確配合打點器操作
可輸入移動座標及移動間距
6"真空吸附卡盤(4“、8“等其它尺寸選)

產(chǎn)品規(guī)格：

XY平臺行程：150mm*150mm
速度：50mm/sec
分辨率：0.5μm
精度：<10μm
重復定位精度：<5μm

Z軸行程：5mm
速度：10mm/sec。
分辨率：1.5μm
精度：<10μm
重復定位精度：<5μm

外形尺寸：
寬度：700mm
高度：700mm
長度：800mm
重量：65kg