MSLM-120X100-INXY-E50倒置顯微鏡直線電機平臺

匹配顯微鏡型號：

OLYMPUS IX53/73/83

NIKON Ti

接受其它顯微鏡型號定制

MSLM-100X100-INXY-E50工業(yè)顯微鏡直線電機平臺是專門針對主流研究級倒置顯微鏡設(shè)計開發(fā)的產(chǎn)品，相比傳統(tǒng)的絲桿驅(qū)動平臺，它具有精度更佳、響應(yīng)更快、速度更高、壽命更長的優(yōu)點。而且由于直線電機屬于非接觸式直驅(qū)機構(gòu)，幾乎無噪音，是傳統(tǒng)顯微鏡平臺的優(yōu)化升級產(chǎn)品。

主要尺寸及性能參數(shù)：

●行程：120mm x 100mm

●光柵分辨率：50nm

●最小步長：100nm

●重復(fù)定位精度：≤±250nm

●速度：≥300mm/s

●導(dǎo)軌類型：交叉滾柱導(dǎo)軌

●負載：≥5kg

●直驅(qū)機構(gòu)，無回程間隙

●主體材質(zhì)：航空級鋁合金

●表面處理：上滑臺面噴砂及硬質(zhì)陽極氧化，其余結(jié)構(gòu)件普通陽極氧化

產(chǎn)品型號命名規(guī)則：

MSLM - 120X100 - INXY - E50

    1            2               3       4

1MSLM是直線電機顯微鏡平臺的英文縮寫

2120x100代表著該型號產(chǎn)品的有效行程，單位mm，如需其它行程，可聯(lián)系廠家溝通定制

3INXY代表工作軸方向及類型，IN是INVERT倒置的意思，默認按照笛卡爾坐標系確認方向

4E50代表該型號產(chǎn)品光柵的分辨率，單位nm，默認產(chǎn)品分辨率為50nm，可選20nm/100nm/0.5um/1um/5um等，分辨率的改變會導(dǎo)致平臺速度以及重復(fù)定位精度的變化，詳細情況請進一步咨詢廠家

特別注意事項：

1、直線電機平臺屬于高精度精密設(shè)備，因此如果希望得到性能，需要保證足夠的使用環(huán)境，尤其在使用要求重復(fù)定位精度小于1um的設(shè)備上，所有指標的復(fù)現(xiàn)都需要滿足一定的溫度、濕度、氣壓、振動等，詳細要求可進一步聯(lián)系廠家咨詢溝通