產品簡介 ：WZH系列高溫探針臺系統(tǒng)包含：光學成像部分，整體升降底座，高精度探針座，溫控系統(tǒng)，真空吸附系統(tǒng)等；可應用于高溫環(huán)境下被測樣品的電學性能測試分析，如：半導體/微電子，電子，機電，物理，化學，材料，光電，納米，微機電/MEMS，生物芯片，航空航天等科學研究領域，以及......

產品信息：
  探針臺主要應用于半導體行業(yè)、光電行業(yè)、集成電路以及封裝的測試。 廣泛應用于復雜、高速器件的精密電氣測量的研發(fā)，旨在確保質量及可靠性，并縮減研發(fā)時間和器件制造工藝的成本。

  創(chuàng)譜儀器研發(fā)的高性價比手動探針臺，廣泛應用于集成電路、三極管、二極管及光電探測器的IV/CV參數等性能測試與表征，是光電科研中*的基本設備。

  WZH系列高溫探針臺系統(tǒng)包含：光學成像部分，整體升降底座，高精度探針座，溫控系統(tǒng)，真空吸附系統(tǒng)等；可應用于高溫環(huán)境下被測樣品的電學性能測試分析，如：半導體/微電子，電子，機電，物理，化學，材料，光電，納米，微機電/MEMS，生物芯片，航空航天等科學研究領域，以及IC設計/制造/測試/封裝、LED、LCD/OLED、LD/PD、PCB、FPC等生產制造領域。是一款功能*的高性能探針臺。

產品特點：
★可測試Wafer尺寸：2英寸-4英寸（還可以升級更大尺寸）

★探針座和樣品整體位移，非常方便客戶對樣品進行同步光電測試

★漏電流精度：100fA，可達10fA

★精密絲杠/燕尾傳動結構，線性移動，精密位移，無回程差設計

★應用于高等院校/研究所/公司實驗室使用

★1微米以上電極/PAD使用

★模塊化設計，可以根據應用增加和去除相應模塊

★采用進口溫控系統(tǒng)，優(yōu)異的溫度穩(wěn)定性和控溫均勻性

產品應用：
◆LD/LED/PD的光強/波長測試（集成我司光電儀器）

◆材料/器件的IV/CV等特性分析測試

◆晶圓分析測試

技術參數選型：

規(guī)格/參數
型號		WZH-4
外形尺寸（LWH）		600mm×600mm×450mm
電力需求		220VC,50-60HZ
樣品臺	尺寸	4寸（圓形/方形）可以定制更大樣品臺
	行程	XY軸行程50mm；Z軸行程60mm（可以增加旋轉功能）
	移動精度	XY軸整體1μm；Z軸10μm
	背電極測試功能	可以引出電極
	真空吸附	搭配進口無油真空泵，7L/min
	定制模塊	可定制位移行程和精度
溫控系統(tǒng)	溫控范圍	常溫-300℃（常溫-27K）
	控溫精度	±0.1℃
	控溫穩(wěn)定性	±1℃
	控溫均勻性	±3℃
探針調整座	XYZ行程	13mm-13mm-13mm
	機械精度	1μm
	漏電精度	100fA/10fA
	安裝方式	可調磁力吸附/真空吸附
	接口形式	三同軸（Triax）
光學成像	放大倍數	7-200倍（可升級到720倍）
	CCD像素	2000W
	中心距離	140mm，升降范圍270mm，總高度350mm
	顯示器	12寸顯示器，將3-17mm的樣品放大到整個屏幕（可升級大尺寸顯微鏡）
可選附件		鍍金卡盤	積分球測試選件	屏蔽箱
		隔振支架	導入光源支架	波長單色可調光纖光源（測光電流）
		顯微鏡調節(jié)手動/電動調節(jié)裝置	激光切割顯微鏡	轉接頭配件
創(chuàng)譜儀器可以根據客戶應用搭建探針臺，以達到更好的使用效果和性價比