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KrF(248nm)準分子激光器反射鏡

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  • 型號 KrF
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更新時間:2021-07-21 18:03:16瀏覽次數(shù):276

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產(chǎn)品簡介

KrF(248nm)準分子激光器反射鏡

詳細介紹

產(chǎn)品名稱:KrF(248nm)準分子激光器反射鏡
產(chǎn)品型號:KrF

Excimer Laser KrF (248 nm) Laser Mirrors

Extra-Cavity Turning Mirrors
Normal or 45° incidence
High or partial reflectance

Specifications

Material:
VUV grade MgF2, VUV grade CaF2
Surface Quality:
< 20 / 10
Radius of Curvature:
∞
Surface Flatness:
< λ / 10 @ 633 nm
Diameter Tolerance:
< + 0.00 / - 0.20 mm
Thickness Tolerance:
< ± 0.25 mm
Clear Aperture:
> 85% of diameter
Damage Threshold:
> 1.2 J /cm², 10 ns
Durability:
Meet adhesion and abrasion per MIL-C-675
Part No.Diameter (inch)Thickness (inch)Runp
0° High Reflector
XHR-1206U-248-00.500.250>99.5%
XHR-1906U-248-00.750.250>99.5%
XHR-2506U-248-01.000.250>99.5%
XHR-3809U-248-01.500.375>99.5%
XHR-5009U-248-02.000.375>99.5%
XHR-7912U-248-03.000.500>99.5%
45° High Reflector
XHR-1206U-248-450.500.250>99%
XHR-1906U-248-450.750.250>99%
XHR-2506U-248-451.000.250>99%
XHR-3809U-248-451.500.375>99%
XHR-5009U-248-452.000.375>99%
XHR-7612U-248-453.000.500>99%
Partial Reflector
XP-1206U-*R-2480.500.250*
XP-1906U-*R-2480.750.250*
XP-2506U-*R-2481.000.250*
XP-3809U-*R-2481.500.375*
XP-5009U-*R-2482.000.375*
XP-7612U-*R-2483.000.500*

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