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ArF(193nm)準(zhǔn)分子激光器反射鏡

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  • 型號 ArF
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  • 廠商性質(zhì) 其他
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更新時間:2021-07-21 18:01:35瀏覽次數(shù):319

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產(chǎn)品簡介

ArF(193nm)準(zhǔn)分子激光器反射鏡

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品名稱:ArF(193nm)準(zhǔn)分子激光器反射鏡
產(chǎn)品型號:ArF

Argon Fluoride laser optics for use at 193nm

Extra-Cavity Turning Mirrors
Normal or 45° incidence
High or partial reflectance

Specifications

Material:
Excimer grade Fused Silica
Surface Quality:
< 10 / 5
Radius of Curvature:
∞
Surface Flatness:
< λ / 10 @ 633 nm
Diameter Tolerance:
< + 0.00 / - 0.20 mm
Thickness Tolerance:
< ± 0.25 mm
Clear Aperture:
> 85% of diameter
Damage Threshold:
> 1.2 J /cm², 10 ns
Durability:
Meet adhesion and abrasion per MIL-C-675
Part No.Diameter (inch)Thickness (inch)Runp
0° High Reflector
XHR-1206U-193-00.500.250>97%
XHR-1906U-193-00.750.250>97%
XHR-2506U-193-01.000.250>97%
XHR-3809U-193-01.500.375>97%
XHR-5009U-193-02.000.375>97%
45° High Reflector
XHR-1206U-193-450.500.250>96%
XHR-1906U-193-450.750.250>96%
XHR-2506U-193-451.000.250>96%
XHR-3809U-193-451.500.375>96%
XHR-5009U-193-452.000.375>96%
Partial Reflector
XP-1206U-*R-1930.500.250*
XP-1906U-*R-1930.750.250*
XP-2506U-*R-1931.000.250*
XP-3809U-*R-1931.500.375*
XP-5009U-*R-1932.000.375*

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