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ArF(193nm)準分子激光器腔鏡

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  • 型號 準分子激光器腔鏡
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更新時間：2021-07-21 17:54:06瀏覽次數(shù)：445

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產(chǎn)品簡介

ArF(193nm)準分子激光器腔鏡

詳細介紹

產(chǎn)品名稱：ArF(193nm)準分子激光器腔鏡
產(chǎn)品型號：準分子激光器腔鏡

Specifications

Material:
VUV grade MgF2,
VUV grade CaF2
Surface Quality:
< 20 / 10
Radius of Curvature:
∞
Surface Flatness:
< λ / 10 @ 633 nm
Diameter Tolerance:
< + 0.00 / - 0.20 mm
Thickness Tolerance:
< ± 0.25 mm
Clear Aperture:
> 85% of diameter
Damage Threshold:
> 1.2 J /cm², 10 ns
Durability:
Meet adhesion and abrasion per MIL-C-675
MgF2CaF2DiameterThickness (mm)Runp
Rear Cavity Mirror
XRM-1203M-193XRM-1203CU-1930.50"3.0>97%
XRM-2003M-193XRM-2003CU-19320mm3.6>97%
XRM-2503M-193XRM-2503CU-1931.00"3.0>97%
XRM-3605M-193XRM-3605CU-19336 mm5.5>97%
XRM-3805M-193XRM-3805CU-1931.50"5.5>97%
XRM-5009M-193XRM-5009CU-1932.00"9.5>97%
Output Coupler
XOC-1203M-*R-193XOC-1203CU-*R-1930.50"3.0*
XOC-2003M-*R-193XOC-2003CU-*R-19320 mm3.6*
XOC-2503M-*R-193XOC-2503CU-*R-1931.00"3.0*
XOC-3605M-*R-193XOC-3605CU-*R-19336 mm5.5*
XOC-3805M-*R-193XOC-3805CU-*R-1931.50"5.5*
XOC-5009M-*R-193XOC-5009CU-*R-1932.00"9.5*
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