日本 Ayumi 超高真空全金屬角閥 日本 Ayumi 超高真空全金屬角閥

產(chǎn)品性能

ML?03M 為手動(dòng)式全金屬超高真空角閥，摒棄橡膠密封件，采用 OFC 無氧銅墊片密封邊緣結(jié)構(gòu)，實(shí)現(xiàn)極低泄漏；所需緊固扭矩小，支持 350℃高溫烘烤，可穩(wěn)定工作于 10??Pa 及以下超高真空環(huán)境；閥門密封磁盤可單獨(dú)更換，便于維護(hù)，成型 SUS304 波紋管保障閥桿動(dòng)作，全開電導(dǎo)率 8.5L/sec，流通性能優(yōu)異。

參數(shù)表

表格

項(xiàng)目ML?03M 參數(shù)

使用壓力大氣壓～10??Pa 以下

使用溫度范圍0?300℃，烘烤 350℃

泄漏量6.7×10?11Pa?m3/sec 以下

電導(dǎo)率（全開）8.5?/sec

密封扭矩5?7N·m

連接法蘭ICF34

扭矩扳手方頭尺寸6.35mm

本體材質(zhì)SUS304

密封材料OFC 無氧銅

波紋管SUS304 成型波紋管

型號(hào)說明

型號(hào)：ML?03M，Ayumi ML 系列手動(dòng)全金屬超高真空角閥，03 代表適配 ICF34 法蘭規(guī)格，M 代表手動(dòng)操作結(jié)構(gòu)。

產(chǎn)品用途

用于科研實(shí)驗(yàn)室、半導(dǎo)體設(shè)備、鍍膜設(shè)備、真空腔體等超高真空管路，實(shí)現(xiàn)氣路通斷隔離；適合需要高溫烘烤、無有機(jī)析出、對(duì)漏率要求嚴(yán)苛的真空系統(tǒng)。

使用說明

安裝：兩端 ICF34 法蘭對(duì)接真空管路，按照 5?7N?m 扭矩緊固法蘭螺栓，保證密封效果。

操作：旋轉(zhuǎn)頂部手輪完成閥門開、閉操作，禁止超力擰動(dòng)。

烘烤：設(shè)備整體烘烤溫度不超過 350℃，烘烤前確認(rèn)閥門處于對(duì)應(yīng)工作狀態(tài)。

維護(hù)：密封磁盤損耗后可直接更換磁盤配件，無需整體更換閥門；波紋管禁止外力磕碰。

適用工況：真空環(huán)境使用，禁止用于高壓承壓工況。

適用行業(yè)

半導(dǎo)體制造、科研院所實(shí)驗(yàn)室、真空鍍膜、材料熱處理、分析儀器、航天真空模擬設(shè)備。