Teledyne API水冷臭氧發(fā)生器OG-5000是為滿足半導體工業(yè)中對高濃度潔凈臭氧的需求而設(shè)計的，可應用于化學氣相沉積、原子層沉積、氧化物生長和濕法處理過程中。Teledyne API水冷臭氧發(fā)生器OG-5000系列設(shè)計緊湊，使用水冷系統(tǒng)，能夠簡便的整合進TAPI的臭氧系統(tǒng)控制器、臭氧泄露探測器、臭氧濃度監(jiān)測器和臭氧破壞器中。該儀器經(jīng)過驗證的技術(shù)使得它可廣泛應用于半導體流程中。

Teledyne API水冷臭氧發(fā)生器OG-5000

OG-5000系列臭氧發(fā)生器是為滿足半導體工業(yè)中對高濃度潔凈臭氧的需求而設(shè)計的，可應用于化學氣相沉積、原子層沉積、氧化物生長和濕法處理過程中。產(chǎn)品：微量氧分析儀,藥品殘氧儀,露點儀,熱導氣體分析儀,GE流量計,OX-1氧傳感器,頂空分析儀,紅外氣體分析儀,高溫濕度儀,西門子U23分析儀,ppb微量水分析儀,OXY.IQ氧分析儀,煙氣濕度儀,燃氣熱值儀,Kaye溫度驗證儀,L&W白度,儀激光氧分析儀,壓縮空氣露點儀,干燥機露點儀,激光氣體分析儀,便攜式露點儀,便攜式微量氧分析儀，Fei （維修中心，代表處，總代理，分公司，子公司，售后中心，銷售中心，上海辦，辦事處）

OG-5000系列設(shè)計緊湊，使用水冷系統(tǒng)，能夠簡便的整合進TAPI的臭氧系統(tǒng)控制器、臭氧泄露探測器、臭氧濃度監(jiān)測器和臭氧破壞器中。該儀器經(jīng)過驗證的技術(shù)使得它可廣泛應用于半導體流程中。

Teledyne API水冷臭氧發(fā)生器

• 高純度臭氧
  
• 高臭氧濃度
• 價格低
  
• 無消耗品
  
• 設(shè)計緊湊，模塊化
• 經(jīng)過驗證的技術(shù)

Teledyne API水冷臭氧發(fā)生器OG-5000

• Teledyne API水冷臭氧發(fā)生器應用
  
• 半導體
  
• 化學氣相沉積 (CVD)
  
• 原子層沉積 (ALD)
  
• 氧化物生長
• 表面處理
• 粒子清潔
• 光刻膠去除
• 灰化
• 其他

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