標稱尺寸外徑2mm的超微型壓力傳感器CYG502是專為流體力學實驗中要求更小安裝尺寸的用途而設計的。是目前我公司推出產品中尺寸最小的壓力傳感器。

CYG502的壓力敏感元件采用的MEMS（Miro Electronic Machinical Systems）技術設計與制造。三維集成、雙面加工的硅壓阻壓力敏感元件具有優(yōu)秀的線性精度。離子注入、精細光刻技術制作的惠斯頓應變電橋的高度一致性使其具有很小的溫度漂移。采用硅硅直接鍵合技術、倒V型槽設計、從而實現了可利用芯片薄膜尺寸的化，把整個芯片尺寸縮小到1×1mm大小，而輸出靈敏度仍可達到100kpa的量程，為超微型傳感器的實現取得關鍵突破。

把傳統(tǒng)設計中的硅–玻璃鍵合改為硅–硅鍵合，改善了熱匹配效果，減少了應力帶來的零位不穩(wěn)定性。

目前已面市品種有絕壓型測量模式產品，表壓型正在研制中。

CYG502A絕壓型超微型壓力傳感器為探針形，標準外徑為Ф2.15mm，長度為18mm，傳感器的可選量程為100、160、250、400、600、1000、1600、2500、4000kpa壓力。

CYG502A絕壓傳感器用敏感元件正面承壓。因此，它僅適用于介質為無腐蝕性，不導電性的干燥氣體。它有著相當寬的工作溫區(qū)，可達-55℃～+120℃，也有著非常優(yōu)秀的高頻動態(tài)特性，其量程的敏感元件的固有頻率＞200kHz，上升時間為亞微秒。

1、性能指標參數

2、滿量程輸出：  最小值30mv   典型值80mv   值130mv

3、輸入輸出阻抗：最小值3 kΩ  典型值5 kΩ  值7 kΩ

4、輸入工作電流：1.5mA（表壓型）1mA（絕壓型）（恒流源）

5、工作溫度范圍：-55℃～+120℃

6、補償溫度范圍：-10℃～+80℃

7、過載能力：    額定量程的200%

8、加速度靈敏度：＜0.001%FS/g

9、外形尺寸圖：  CYG502A