主機(jī) 描述
系統(tǒng)配置 精密3軸CNC系統(tǒng),“T” 型布局
加工范圍 750mm×750mm
腔體結(jié)構(gòu) 主真空腔體(Φ1700mm×1450mm,304),副真空腔體(304)
法拉第掃描系統(tǒng) 法拉第杯電流收集器,電流放大器(1000倍),掃描軟件系統(tǒng)(帶補(bǔ)償分析和校正)
計(jì)算機(jī)配置 Intel i5 2.4GHz處理器,64-bit 位Windows 7專業(yè)版,16GB內(nèi)存,10/100/1000以太網(wǎng)
接口,DVD RW光驅(qū),50GB硬盤,USB接口
控制系統(tǒng) ACS Cmba-3C04N0N800WNNNYN
編程分辨率 0.1μm
性能展示 可加工平面、球面、柱面、非球面、離軸非球面、自由曲面等原件,加工材料包括
金屬、 玻璃、晶體、紅外材料、寶石等
加工精度rms<1nm
離子源 指標(biāo)
類型 射頻離子源
3石墨柵網(wǎng)(focusing girds with R=150mm)
柵網(wǎng)孔直徑d=1mm,柵網(wǎng)孔區(qū)域直徑D=38mm(resulting ion beam profile FWHM 25mm)
中和器 鎢絲陰極結(jié)構(gòu)中和器,0.3mm鎢絲
2個(gè)高壓電源結(jié)構(gòu),BNC型號(hào)
離子源束電壓直流電源0-2000V
電源 離子源加速電壓直流電源0-1000V
中和器直流電源0-30A
射頻電源0-300V
線性軸 X Z Y
行程 800mm 150mm 800mm
驅(qū)動(dòng)系統(tǒng) 直流直線電機(jī) 直流直線電機(jī) 直流直線電機(jī)
反饋類型 Renishaw真空光柵尺反饋 Renishaw真空光柵尺反饋 Renishaw真空光柵尺反饋
反饋分辨率 0.1μm 0.1μm 0.1μm
進(jìn)給速度 運(yùn)動(dòng)速度>100mm/s, 運(yùn)動(dòng)速度>100mm/s, 運(yùn)動(dòng)速度>100mm/s,
加速度>2m/8’ 2 加速度>2m/8’2 加速度>2m/8’ 2
直線度 20μm over full travel 20μm over full travel 20μm over full travel
其他 三軸聯(lián)動(dòng),重復(fù)定位精度<5μm,真空散熱保證,Z軸負(fù)載磁力配重,支持CNC
Gcode代碼控制
使用環(huán)境 氣體要求 供電要求 占地空間
基本光學(xué)加工環(huán)境, 380VAC; 1phase; 3.50m L x 4.0m D x 3.0 m
溫控±5℃以內(nèi) 6 to 8 bar 50/60hz Approx.5.500KG
用戶評(píng)論
發(fā)布評(píng)論