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  • 離子束拋光機(jī)
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品牌

廠商性質(zhì)

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型號(hào)

訪問次數(shù)

185

產(chǎn)地

上海

更新時(shí)間

2025/7/26 9:55:45

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主機(jī)描述 系統(tǒng)配置精密3軸CNC系統(tǒng)

離子束拋光機(jī)詳細(xì)信息

主機(jī) 描述

系統(tǒng)配置 精密3軸CNC系統(tǒng),“T” 型布局

加工范圍 750mm×750mm

腔體結(jié)構(gòu) 主真空腔體(Φ1700mm×1450mm,304),副真空腔體(304)

法拉第掃描系統(tǒng) 法拉第杯電流收集器,電流放大器(1000倍),掃描軟件系統(tǒng)(帶補(bǔ)償分析和校正)

計(jì)算機(jī)配置 Intel i5 2.4GHz處理器,64-bit 位Windows 7專業(yè)版,16GB內(nèi)存,10/100/1000以太網(wǎng)

接口,DVD RW光驅(qū),50GB硬盤,USB接口

控制系統(tǒng) ACS Cmba-3C04N0N800WNNNYN

編程分辨率 0.1μm

性能展示 可加工平面、球面、柱面、非球面、離軸非球面、自由曲面等原件,加工材料包括

金屬、 玻璃、晶體、紅外材料、寶石等

加工精度rms<1nm

離子源 指標(biāo)

類型 射頻離子源

3石墨柵網(wǎng)(focusing girds with R=150mm)

柵網(wǎng)孔直徑d=1mm,柵網(wǎng)孔區(qū)域直徑D=38mm(resulting ion beam profile FWHM 25mm)

中和器 鎢絲陰極結(jié)構(gòu)中和器,0.3mm鎢絲

2個(gè)高壓電源結(jié)構(gòu),BNC型號(hào)

離子源束電壓直流電源0-2000V

電源 離子源加速電壓直流電源0-1000V

中和器直流電源0-30A

射頻電源0-300V

線性軸 X Z Y

行程 800mm 150mm 800mm

驅(qū)動(dòng)系統(tǒng) 直流直線電機(jī) 直流直線電機(jī) 直流直線電機(jī)

反饋類型 Renishaw真空光柵尺反饋 Renishaw真空光柵尺反饋 Renishaw真空光柵尺反饋

反饋分辨率 0.1μm 0.1μm 0.1μm

進(jìn)給速度 運(yùn)動(dòng)速度>100mm/s, 運(yùn)動(dòng)速度>100mm/s, 運(yùn)動(dòng)速度>100mm/s,

加速度>2m/8’ 2 加速度>2m/8’2 加速度>2m/8’ 2

直線度 20μm over full travel 20μm over full travel 20μm over full travel

其他 三軸聯(lián)動(dòng),重復(fù)定位精度<5μm,真空散熱保證,Z軸負(fù)載磁力配重,支持CNC

Gcode代碼控制

使用環(huán)境 氣體要求 供電要求 占地空間

基本光學(xué)加工環(huán)境, 380VAC; 1phase; 3.50m L x 4.0m D x 3.0 m

溫控±5℃以內(nèi) 6 to 8 bar 50/60hz Approx.5.500KG

設(shè)備特點(diǎn)

● 加徑:750mm×750mm

● 加工材料:玻璃、金屬、硅、晶體(YAG、鈮酸鋰等)、鍺等紅外材料、寶石等

● 加工精度:面形rms<1nm(與檢測(cè)精度有關(guān))

● 非接觸加工方式,支持平面、球面、柱面、非球面及自由曲面加工

● 去除穩(wěn)定,確定性加工程度高,亞納米級(jí)加工精度

● 不產(chǎn)生亞表面損傷,可修正中低頻誤差,加工過程中基本不產(chǎn)生中高頻誤差

● 的離子束過程誤差補(bǔ)償技術(shù)

● 離子源穩(wěn)定性>95%,連續(xù)工作運(yùn)行時(shí)間>300h (不用開腔體維護(hù))

● 高去除效率,去除率:0-0.2mm3/min范圍可調(diào)

● 法拉第監(jiān)測(cè)和補(bǔ)償,監(jiān)測(cè)離子束流特征及坐標(biāo)掃描補(bǔ)償

● 設(shè)備維護(hù)成本低,耗材少的特點(diǎn)

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發(fā)布評(píng)論
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