圖像

正像/反像

觀察方法

明場(chǎng)、暗場(chǎng)、偏光、微分干涉觀察

目鏡

屈光度可調(diào)10X（視場(chǎng)數(shù)：22mm)

物鏡

所有Plan FLUOR EPI/Plan FLUOR EPI SL系列鏡頭

調(diào)焦系統(tǒng)

更大被測(cè)物高度

200mm

電動(dòng)調(diào)焦參數(shù)

微調(diào)：50μm、100μm、400μm /圈可選  

點(diǎn)動(dòng)：100μm /步

粗調(diào)：10mm/秒

調(diào)焦精度

較小步距

0.1μm

測(cè)量重復(fù)性

±1μm

照明裝置

透射照明

遠(yuǎn)心照明、無(wú)級(jí)亮度可調(diào)、5W LED光源

反射照明

科勒照明、可調(diào)孔徑光闌、無(wú)級(jí)亮度可調(diào)、5W LED光源

輔助照明

FA輔助聚焦、LED環(huán)型光源、光纖冷光源

載物臺(tái)

測(cè)量范圍

500*400mm

金屬臺(tái)尺寸

700*600mm

玻璃尺寸

550*450mm

快速釋放裝置

標(biāo)準(zhǔn)配置

遙控開關(guān)

RESET（復(fù)位）與SEND（發(fā)送）按鈕位于X手輪附近

數(shù)字計(jì)數(shù)器

較小讀數(shù)

可在0.5/0.1μm選擇

功能

調(diào)零、分中、方向轉(zhuǎn)換、公英制轉(zhuǎn)換、RS232輸出

測(cè)量精度

（3+0.02L）μm  L為測(cè)量長(zhǎng)度

功耗

230W、85～240VAC 50/60HZ

主機(jī)

外型尺寸

1172*896*1259mm

重量

385KG

數(shù)值孔徑(N.A)

0.07

0.13

0.3

0.4

0.55

0.8

工作距離（mm）

7.6

22.5

16.5

12.0

8.7

3

類型

明場(chǎng)

明場(chǎng)/暗場(chǎng)，長(zhǎng)工作距離