zonglen半導體器件高低溫測試設備chiller

半導體專用溫控裝置（Chiller）主要用于半導體制程中對反應腔室溫度的精準控制，主要由熱交換器、循環(huán)泵、壓縮機和控制系統(tǒng)構(gòu)成的一個自我平衡的循環(huán)裝置，屬于生產(chǎn)過程中的溫控設備。在常規(guī)PID控制算法的基礎上加入了預測控制技術(shù)和自適應控制技術(shù)，并采用變頻控制及兩級閉環(huán)節(jié)能控制，顯著地提高了Chiller的穩(wěn)定性、控制精度和響應速度。

zonglen半導體器件高低溫測試設備chiller

應用于半導體行業(yè)蝕刻裝置，CMP（工藝機械拋光）， 實驗室精密裝置、 高精度測試儀器、醫(yī)美設備、固態(tài)激光器、模具溫控等。

變頻控制，智能PID控制
預測控制及自適應控制
模塊化功能定制，高效節(jié)能
兩級閉環(huán)節(jié)能控制

zonglen半導體器件高低溫測試設備chiller

溫度范圍：-20°C~+90°C

控溫精度：±0.1℃

觸摸屏操作，人機交互界面

連鎖控制、可靠性高

定時運轉(zhuǎn)、液面降低、停電復位、防凍功能

溫度波動小