SurfaceParticleQV表面塵埃粒子計數(shù)器SurfaceParticleQV表面塵埃粒子計數(shù)器用于測量各種高潔凈度要求的產(chǎn)品，光學鏡片組件，液晶面板及超凈微環(huán)境受控的半導體機臺等表面所附著的塵埃粒子的粒徑大小及單位面積內(nèi)的數(shù)量

Surface  Particle  QV  表面塵埃粒子計數(shù)器

 

Surface  Particle  QV  表面塵埃粒子計數(shù)器用于測量各種高潔凈度要求的產(chǎn)品，光學鏡片組件，液晶面板及超凈微環(huán)境受控的半導體機臺等表面所附著的塵埃粒子的粒徑大小及單位面積內(nèi)的數(shù)量。

 

本儀器的核心零部件（光學傳感器）及控制器等采用美國萊特浩斯所生產(chǎn)的組件來保證該產(chǎn)品的測量精度。

 

本儀器外殼采用SUS316L不銹鋼制作，并經(jīng)表面化處理。彩色觸摸液晶屏顯示操作，檢測光學傳感器采用美國進口整機，吸氣的氣泵為旋片式進口氣泵，并可通過流量傳感器來調(diào)節(jié)氣泵的運行流量，使其保持在一個穩(wěn)定的檢測流量范圍內(nèi)，表面測試探頭根椐德國同類產(chǎn)品進行改進，并配有防靜電軟管與主機連接，其用于排氣及吸氣過濾的囊式過濾器，內(nèi)部濾材為德國進口，從而保證儀器的檢測精度及運行穩(wěn)定性。

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

主要技術性能參數(shù)

1. 檢測精度：0.3微米（0.1微米可訂制）

2. 檢測通道：0.3，0.5，0.71.0，3.0，5.0，7.0，10.0微米八通道

（可定制：0.1，0.15，0.2，0.25，0.3，0.5，0.7，1.0微米）

 

3. 計數(shù)效率：0.3微米百分之五十±20%（一粒徑通道），0.5微米±10%（二粒徑通道）

4. 采樣流量：28.3L每分鐘±5，可通過觸摸屏控制自行調(diào)整

5.采樣時間：1S—24H

6. 重復性：相對標準偏差≦10%

7. 粒徑準確度：相對誤差≦10%

8. 自凈時間：≦10min

9. 光源：激光二極管，經(jīng)過特殊工藝處理優(yōu)化理論壽命20年（MTT）或壽命大于40000小時

10. 操作界面：彩色觸摸屏顯示控制屏，便于操作和設定，能同時顯示八個通道的數(shù)據(jù)

11. 分辨率：320*240，屏幕數(shù)據(jù)縮功能

12. 允許采樣濃度：≧0.3微米≦1000000立方英尺損失≦10%或≦500000立方英尺損失≦5

13. 檢測的空氣中不得含有腐蝕性氣體

14. 外形尺寸：280*260*260（mm）

15. 重量：7KG

16. 功耗：50W

17. 電源：AC 100~240 ,50—60HZ,16.8V內(nèi)置鋰電池、DC16—24V

18. 數(shù)據(jù)存儲：3000組

19. 表面材質(zhì)：SUS316L

20. 連續(xù)工作時間：8小時

21. 零計數(shù): ≦10分鐘內(nèi)連續(xù)3分鐘為0

22.執(zhí)行標準：ISO21501-4:2018、GB/T6167-2007、JJF1190-2008

23. 采樣口徑：1/4”Flaretek TM

24. 使用環(huán)境條件：溫度：10-35℃ ，濕度：20-75%RH,大氣壓：86-106kPa

25. 輸出方式：內(nèi)置熱敏打印機或485協(xié)議

26. 語言：中、英、德、日等多國語言

27. 保修：二年 （儀器自身質(zhì)量）