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1200°C幵啟式真空/氣氛管式爐CVD系統(tǒng)（CVD-TF) 鼓風(fēng)機

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2025/4/23 9:32:55

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1200C幵啟式真空/氣氛管式爐CVD系統(tǒng)（CVD-TF)CVD-TF12P50/60/80/100CVD-TF12T50/60/80/100CVD-TF12P50/60/80/100SCVD-TF12T50/60/80/100S提供具有真空、可控氣氛及高溫的實驗環(huán)境

1200°C幵啟式真空/氣氛管式爐CVD系統(tǒng)（CVD-TF) 鼓風(fēng)機詳細信息

1200°C幵啟式真空/氣氛管式爐CVD系統(tǒng)（CVD-TF)

CVD-TF12P50/60/80/100 CVD-TF12T50/60/80/100 CVD-TF12P50/60/80/100S CVD-TF12T50/60/80/100S

提供具有真空、可控氣氛及高溫的實驗環(huán)境，應(yīng)用在半導(dǎo)俥、納米技艱、碳纖維等領(lǐng)域

■ 產(chǎn) 品用途：

此款CVD生長系統(tǒng)適用于CVD工藝，如碳化硅鍍膠、陶瓷基片導(dǎo)電率測試、ZnO納米結(jié)構(gòu)的可控生長、陶瓷電容{ MLCC } 氣氛燒結(jié)等實驗。

■ 產(chǎn) 品特點：

• 爐膛采用多晶莫來纖維真空吸附制成，溫場均勻節(jié)能50%以上

• 的空氣導(dǎo)流隔熱技術(shù)保證箱內(nèi)各部件的使用壽命及恒溫效果

• 啟動電爐，排溫風(fēng)機同時自動運行，試驗結(jié)束后，排溫風(fēng)機將繼續(xù)運行，直至爐體溫度低于6013,排溫風(fēng)機自行停止，有效保護了爐體表面

• 爐門開啟自動斷電、超溫保護功能、漏電保護功能，以確保使用的安全性

參電路采用連續(xù)加熱輸出方式，雙回路供電，強弱電單獨走線提高了系統(tǒng)的穩(wěn)定性

• 加熱模塊采用直流信號調(diào)節(jié)輸出功率，避免了感應(yīng)電對控制倌號的干擾

• 操作按鍵選用低壓金屬按鈕，自帶狀態(tài)指示燈，操作安全直觀

• 上下爐體采用航空插頭連接方式，連接安全可靠方便

• 氣路總成采用貪品級316不銹鋼制成，具有耐蝕性，耐大氣腐蝕性和耐高濕強度好，無磁性

• 采用數(shù)顯流呈顯示儀.配合質(zhì)至流呈控制器，采集數(shù)據(jù)并控制流呈。具有控制精度高，重復(fù)性好，相應(yīng)速度快，穩(wěn)定可靠等特點。

(氣體質(zhì)至流呈控制系統(tǒng)}

• 自動控制與手動控制切換功能，自動控制模式能通過設(shè)定值自動開啟/關(guān)閉真空泵，使容器內(nèi)保持在一定的真空壓力范圍內(nèi)。手動控制模式使用用戶通過真空泵開啟/關(guān)閉按鈕直接操作真空泵。以滿足不同實驗的甭要。 {中真空控制系統(tǒng)）

• 電磁閥緩啟動技術(shù)，使電磁閥在真空泵開啟10秒鐘后打開，使?fàn)t管內(nèi)系統(tǒng)壓力保持準(zhǔn)確，也保證了廢氣不會返回到爐管系統(tǒng)影響實驗效果（中真空控制系統(tǒng)）

實用新型證書號：ZL 2016 2 0955138.1

■S全性：

< 過升報警、菜單鎖定、過升防止、復(fù)電延時。

參采用單向閥技術(shù)，使氣體流至在可控壓力范圍內(nèi)控制，保證安全。

•采用混氣罐裝罝，使氣體可以在充分混合后導(dǎo)入工作室內(nèi)，確保不會泄露。

■技術(shù)參數(shù):

關(guān)鍵詞：控制器真空泵電磁閥單向閥

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