光氧催化廢氣處理設備主要利用的高能高臭氧UV紫外線光束照射廢氣，裂解工業(yè)廢氣如：氨、胺、硫化氫、甲硫氫、甲硫醇、甲硫醚、乙酸丁酯、乙酸乙酯、二甲二硫、二硫化 碳和苯乙烯、硫化物H2S,VOC類、苯、甲苯、二甲苯的分子鏈結構，使有機或無機高分子惡臭化合物的分子鏈在高能紫外線的光束的照射下降解轉變成低分子 化合物，如CO2和H2O等。利用高能高臭氧UV紫外線光束分解空氣中的氧分子及水分子產生游離氧（活性氧）和OH自由基，因游離氧和所攜正負電子不平衡 所以需與氧分子結合，進而產生臭氧。UV+O2---O_+O*(活性氧)+O2---O3（臭氧），臭氧對有機物具有*的氧化作用，對工業(yè)廢 氣及其它刺激性異味有的效果。