光刻機溫度控制裝置安裝注意事項

光刻機溫度控制裝置安裝注意事項

　　市場上關(guān)于光刻機溫度控制裝置的類型有多種，不同類型的光刻機溫度控制裝置其使用方法、作用、結(jié)構(gòu)等都存在一定的差異，所以企業(yè)在選擇時根據(jù)企業(yè)的狀況選擇適合自己的產(chǎn)品。

　　一、光刻機溫度控制裝置的安裝方法：

　?。?/font>1）光刻機溫度控制裝置運行時要產(chǎn)生熱量，應(yīng)確保冷卻空氣的流通，安裝時周圍應(yīng)留有一定的空間，產(chǎn)生的熱量向上散發(fā)，所以不要安裝在不耐熱設(shè)備的周圍。

　?。?/font>2）光刻機溫度控制裝置應(yīng)直接安裝在水平面，請勿倒裝、斜裝或垂直安裝。

　　（3）光刻機溫度控制裝置不能安裝在有各種纖維、紙片（屑）、金屬碎塊等場所。

　?。?/font>4）光刻機溫度控制裝置的出水口應(yīng)與您的儀器的進(jìn)水口相連接，儀器的出水口應(yīng)與本冷卻循環(huán)水機的進(jìn)水口相連接。

　　二、光刻機溫度控制裝置的注意事項：

　?。?/font>1）電源一定要連接于主電源端子。如果錯將電源連接于其它端子，將損壞冷卻循環(huán)水機。另外應(yīng)確認(rèn)電源電壓是否在允許電壓范圍內(nèi)。

　?。?/font>2）接地端子須良好接地，防止電擊或火災(zāi)事故。

　　（3）如是分體機，室內(nèi)機與室外機的氟路連接須由凍水機、光刻機溫度控制裝置廠家的技術(shù)人員負(fù)責(zé)安裝或調(diào)試。

　?。?/font>4）光刻機溫度控制裝置，應(yīng)見各接線端子，接線時千萬不要接錯線。

　?。?/font>5）各端子和連接線之間是否有短路或?qū)Φ囟搪贰?/font>

　?。?/font>6）如使用溫度較低請在循環(huán)液里加上防凍液。

　?。?/font>7）一定要用壓接端子連接端子和導(dǎo)線，保證連接的可靠性。

　　（8）完成電路連接后，請檢查連接是否都正確無誤。

（9）有無漏接線。