Ilion II 697 Gatan氬離子拋光系統(tǒng) 主要技術特點：

　　氬離子拋光系統(tǒng)采用兩支具有低能聚集的小型潘寧離子槍，可提供快速柔和的拋光效果。低至100eV的離子束提供更柔和的拋削效果，用于樣品的拋光。新型低能聚焦電極使得離子束的直徑在幾乎整個加速電壓范圍內都保持恒定。每個槍都可準確獨立地將離子束對中在樣品上，從而產生*的離子拋光速率。在操作過程中，可隨時改變槍的角度。通過控制氣體流量可將槍電流變化范圍控制在0~100mA之間。在觸摸屏上通過手動或者自動方式調節(jié)氣體流量使每個槍的工作電流得到優(yōu)化。

　　集成的10英寸彩色觸摸屏計算機可對Ilion II的所有操作參數(shù)進行*控制。此界面不僅可以設定所有參數(shù)并能夠監(jiān)控拋光過程。所有的操作參數(shù)還可以存為配方，調用配方可獲得高精度重復實驗。

渦輪分子泵搭配兩級隔膜泵保證了超潔凈環(huán)境。Gatan的氣動控制Whisperlock技術能實現(xiàn)快速樣品交換（< 1分鐘），省去了換樣過程中必須*泄真空至大氣的煩惱。

1. 氣鎖裝置實現(xiàn)快速樣品交換、始終保持潔凈的高真空狀態(tài)

2. 10英寸觸摸屏可對系統(tǒng)進行*控制與監(jiān)測

3. 配方模式的控制界面，用于一鍵操作

4. 質量流量控制器提供精確和可重復的氬離子電流的控制

5. 槍電壓范圍為100V到8000V的三元（陰極、陽極與聚焦極）構造潘寧離子槍

6. 每個槍的拋光角度可調范圍為-10度~10度，增量為0.1度

7. 扇形拋光角度可變且可程序化，范圍從10度~90度

8. 離子槍無需零件更換，壽命超過30,000小時

9. Gatan的樣品/擋板配置，裝樣簡單，再次拋光位置準確

10. *的離子束調制功能，可進行扇形拋光和平面拋光

11. 潔凈的真空系統(tǒng)，分子泵與隔膜泵搭配

12. 操作簡單，維護方便

Ilion II 697 Gatan氬離子拋光系統(tǒng) 主要技術參數(shù)：

1、 離子槍:        兩個配有稀土磁鐵的三元構造（陰極、陽極與聚焦極）潘寧離子槍，聚焦離子束設計,高性能無耗材

2、 拋光角度:     +10° 到 -10° ，每個離子槍可獨立調節(jié)

3、 離子束能量:     100 V 到 8.0 kV

4、 離子束流密度: 10 mA/cm2 峰值

5、 拋光速度:     300 μm/h（8.0 kV條件下對于硅試樣）

4.2樣品臺

6、 樣品裝載： Ilion的樣品擋板, 裝樣簡單，再次拋光位置準確，可重復使用，配合Sample Stub可直接轉至SEM中觀察

7、 樣品旋轉： 0.5到6 rpm連續(xù)可調

8、 束流調制：  *的離子束調制功能，可進行扇形截面拋光（扇形角度為10到90度可調）和平面拋光

9、樣品觀察： 數(shù)碼變焦顯微鏡，配有PC及Digital Micrograph軟件采集圖像，通過Gatan Digital Micrograph軟件可進行實時成像（300x–2,200x）與圖像存儲和分析

10、液氮冷臺：配置液氮冷臺，樣品低溫度可達-120°C,有效減少離子束對樣品造成的損傷

4.3真空系統(tǒng)

11、干泵系統(tǒng)：兩級隔膜泵支持80升/秒的渦輪分子泵

12、壓力：    5x10-6 托基本壓力，8.5x10-5托工作壓力

13、真空規(guī)： 冷陰極型，用于主樣品室；固體型，用于前級機械泵

14、樣品空氣鎖： *的Whisperlok設計，樣品更換時間<1min，無需破樣品室真空

4.4用戶界面

15、10 英寸觸摸屏： 操作簡單，且能夠*程序化控制所有參數(shù)可進行配方操作。

16、配方操作模式：自定義不同的加工參數(shù)組合，實現(xiàn)一鍵操作。