2021-07-09 15:29:46551
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20年前，Hiden在期刊《PhysicsToday》今日物理學雜志發(fā)布了HPR-80腐蝕性氣體分析質譜儀，初期主要應用于半導體行業(yè)的特氣檢測，如毒性氣體AsH3、B2H6、PH3等，強腐蝕性氣體如如HCI、HF、CIF3等，強氧化性氣體如CIF3
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