Colibrys 的 MS7000 加速度傳感器是廣泛的應(yīng)用于振動(dòng)、慣性和傾斜/傾角領(lǐng)域的傳感器. *而低功耗的設(shè)計(jì)加上出色的零位穩(wěn)定性與相對(duì)高的帶寬的結(jié)合保證了M7000 MEMS 加速度傳感器很高的穩(wěn)定性。MS7000 系列是一個(gè)電容式 MEMS 加速度計(jì)，它是由一個(gè)立體微加工工藝制成的硅元件，一個(gè)低功耗 ASIC 信號(hào)處理器和一個(gè)存儲(chǔ)補(bǔ)償值的微控制器等元件組成。該產(chǎn)品是一個(gè)低功耗的，校準(zhǔn)的，功能*和性能穩(wěn)定的產(chǎn)品。該產(chǎn)品的零位*穩(wěn)定度和比例因子通常都小于全測(cè)量范圍的0.1％。對(duì)于±2g 的 MS7002.3 型, 在寬帶>800Hz（at -3dB）時(shí)，典型的零位溫度系數(shù)為 100 µg /ºC,比例因子溫度系數(shù)為100ppm/ºC。
特征
具有良好的高帶寬零位穩(wěn)定性
± 2g, ±10g 全測(cè)量范圍
高沖擊
低成本高性能
低功率模擬電壓輸出
TO8包裝
應(yīng)用
振動(dòng)測(cè)量 數(shù)據(jù)記錄器
HUMS
結(jié)構(gòu)監(jiān)測(cè)
慣性測(cè)量 鉆井（石油和天然氣）
民用航空
傾角測(cè)量 儀器儀表
交通運(yùn)輸
參數(shù)
| Specifications | 所有數(shù)值特指在溫度20 °C （+86°F）和3伏工作電壓條件下，除非另外說(shuō)明。 | ||||
| | Units | MS7002.3 | MS7010.3 | ||
| 全部測(cè)量范圍 | g | ± 2g | ± 10g | ||
| 封裝 | TO8, 12 管腳 | TO8, 12 管腳 | |||
| 零位校準(zhǔn) | mg | < 10 | < 50 | ||
| 1年時(shí)間的零位穩(wěn)定性[1] | mg typ. （max.） | 2 （< 5） | 10 （< 25） | ||
| 零位溫度系數(shù)[3] | mg/°C typ. | 0.1 | 0.5 | ||
| mg/°C max. | ± 0.4 | ± 2 | |||
| 比例因子（輸出靈敏度） （K1） | mV/g | 500 ± 4 | 100 ± 1 | ||
| 一年期比例因子穩(wěn)定性[2] | ppm typ. （max.） | 500 （< 1000） | 500 （< 1000） | ||
| 比例因子溫度系數(shù)[3] | ppm / °C typ. | 100 | 100 | ||
| min. / max. | -50 / 250 | -50 / 250 | |||
| 輸入軸偏心度（Kp, Ko） | mrad max. | < 10 | < 10 | ||
| % max | 1 | 1 | |||
| 分辨率/閾值（@ 1Hz） | mg max. | < 0.1 | < 0.6 | ||
| 非線(xiàn)性度 | % of FS max. | < 0.8 | < 0.9 | ||
| g max. | < 0.02 | < 0.09 | |||
| 帶寬[4] | Hz | 0 to ≥ 800 | 0 to ≥ 600 | ||
| 噪聲譜密度 [0 ; 9kHz） | mV/Hz typ. | 7 | 7 | ||
| max. | < 18 | < 18 | |||
| 諧振頻率 | kHz | 1.4 | 3.7 | ||
[1]: 一年期穩(wěn)定性是按 IEEE 528-2001標(biāo)準(zhǔn): 打開(kāi)/打開(kāi), 放置在-55°C 和 85°C環(huán)境中,在 -40°C 到125°C 之間循環(huán),在-55°C 和 85°C環(huán)境中，不帶電經(jīng)受擾動(dòng)，震動(dòng)和沖擊。
[2]: 溫度系數(shù)是定義在–40°C到20°C溫度范圍, 其中溫度變化是線(xiàn)性的.
[3]: 帶寬的定義是在某一頻段其靈敏度降低到 3dB以下.
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