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產(chǎn)品簡介
1、平面平晶 標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格尺寸： 單位：mm
| 規(guī)格 | 30mm | 45mm | 60mm | 80mm | 100mm | 150mm | 200mm | 250mm | 300mm |
| 直徑 | Φ30 | Φ45 | Φ60 | Φ80 | Φ100 | Φ150 | Φ200 | Φ250 | Φ300 |
| 高度 | 15mm | | 20mm | 20mm | 25mm | 30mm | 40mm | 45mm | 45mm |
特殊規(guī)格尺寸平面平晶,環(huán)形,方形可定做.
2、制成精度：1級
3、工作面的平面度偏差允許值為：
直徑為 30至100mm 1級平晶 0.03μm
直徑為 100至300mm 1級平晶 0.05μm
更大尺寸平面度偏差允許值，根據(jù)國家標(biāo)準(zhǔn)。
4、工作面的局部偏差允許值為： 0.03μm
5、測量工作應(yīng)在室溫2 0℃±3℃條件下保持?jǐn)?shù)小時(shí)后進(jìn)行。
注：Ф200mm以上標(biāo)準(zhǔn)、環(huán)形需定做
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移動站：平面平晶
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