日本 TYSEI TY-55100 脫氣模塊日本 TYSEI TY-55100 脫氣模塊

設(shè)備基礎(chǔ)規(guī)格

• 類型：低壓損型

• 流量范圍：≤250ml/min

• 膜內(nèi)容積：150ml

• 外形尺寸：Φ120×160mm

• 耐壓：0.3MPa

• 高使用溫度：50℃

• 通液端口：FAINALLOCK 1/4 英寸

• 真空端口：快速接頭 Φ6

• 接觸液材質(zhì)：PFA

• 脫氣率 80% 對(duì)應(yīng)流量：100ml/min

核心產(chǎn)品特性TY-55100 脫氣模塊脫氣膜、端部、接合部等所有接觸液體部件均采用 PFA 氟樹脂材料，具備優(yōu)異耐化學(xué)腐蝕性能，可耐受各類強(qiáng)酸、強(qiáng)堿與有機(jī)溶劑，不會(huì)污染處理藥液，保障流體純度。設(shè)備為低壓損結(jié)構(gòu)，流體輸送阻力更小，適配連續(xù)在線脫氣工況，運(yùn)行穩(wěn)定可靠。整機(jī)采用圓柱不銹鋼殼體，結(jié)構(gòu)緊湊，占用安裝空間小，便于集成到產(chǎn)線管路系統(tǒng)。模塊采用真空脫氣原理，可穩(wěn)定去除液體內(nèi)部溶解氣體，脫氣效率穩(wěn)定，能夠滿足工業(yè)生產(chǎn)對(duì)藥液脫氣的精度要求。模塊化設(shè)計(jì)方便拆裝維護(hù)，接頭標(biāo)準(zhǔn)化，管路連接便捷。多型號(hào)系列可覆蓋不同流量需求，該型號(hào)適合中等流量工況，廣泛適配精密制造的藥液處理流程，可長時(shí)間連續(xù)運(yùn)行，降低氣泡對(duì)后續(xù)工藝造成的不良影響，減少產(chǎn)品缺陷。

適用場(chǎng)景適用于半導(dǎo)體、FPD 平板顯示器制造工藝，對(duì)清洗液、蝕刻液、光刻膠剝離液進(jìn)行脫氣處理；也可用于理化分析、化工領(lǐng)域的藥液、有機(jī)溶劑、酸堿溶液脫氣，同時(shí)覆蓋各類精密制造行業(yè)的清洗液、涂層液、工藝處理液的在線脫氣作業(yè)。