美國 Excel Precision 1001D 雙頻激光頭美國 Excel Precision 1001D 雙頻激光頭

設(shè)備基礎(chǔ)規(guī)格

• 測量原理：塞曼效應(yīng)雙頻氦氖激光

• 真空波長：632.99137 nm

• 拆分頻率：3.4 - 4.0 MHz

• 頻率穩(wěn)定性：2×10^-8

• 指向穩(wěn)定性：預(yù)熱后小于 0.1×10^-3 弧度

• 光束直徑：6mm（3mm、9mm 可選）

• 激光功率：0.2mW~1mW

• 供電：15V DC，工作 1.1A，啟動(dòng) 2.5A

• 外形尺寸：35×13×11.5 厘米

• 信號(hào)輸出：差分方波

• 測量速度：1.0 米 / 秒

核心產(chǎn)品特性這款 1001D 雙頻激光頭利用塞曼效應(yīng)完成激光頻率穩(wěn)定控制，在激光管施加縱向磁場，使氖原子能級(jí)分裂，輸出兩組對(duì)稱分離的激光頻率，實(shí)現(xiàn)高精度、高重復(fù)性的位移測量。設(shè)備具備高拆分頻率，支持1.0m/s 的測量速度，滿足高速運(yùn)動(dòng)工件的實(shí)時(shí)檢測需求。產(chǎn)品支持最多 6 軸同時(shí)測量，可搭配 6 組干涉儀與接收器使用，適配多維度精密定位場景。光束直徑提供多種規(guī)格可選，激光功率區(qū)間穩(wěn)定，頻率與指向穩(wěn)定性表現(xiàn)良好，保障長時(shí)間連續(xù)工作下測量數(shù)據(jù)的一致性。激光頭輸出差分方波信號(hào)，便于后端設(shè)備采集處理，整機(jī)尺寸緊湊，可集成安裝在晶圓步進(jìn)機(jī)、精密機(jī)床等設(shè)備內(nèi)部，同時(shí)兼容品牌全系列光學(xué)配件，系統(tǒng)拓展靈活。還可根據(jù)項(xiàng)目需求定制拆分頻率，適配不同精度等級(jí)的干涉測量方案，在精密光學(xué)檢測領(lǐng)域具備可靠的運(yùn)行表現(xiàn)。

適用場景主要用于半導(dǎo)體晶圓步進(jìn)機(jī)、FPD 步進(jìn)設(shè)備、電子束設(shè)備、IC 檢測設(shè)備、超精密機(jī)床，搭配光學(xué)干涉儀完成精密位移、定位測量，適用于精密加工、半導(dǎo)體制造、光學(xué)計(jì)量等行業(yè)的高精度檢測與定位。