日本 東京計(jì)裝 TOKYO 超聲波液體流量控制器 日本 東京計(jì)裝 TOKYO 超聲波液體流量控制器

產(chǎn)品性能

CLFC300 是一體化超聲波液體流量控制器，將超聲波流量檢測(cè)器、控制閥、流量運(yùn)算與閥門(mén)驅(qū)動(dòng)電路集成在小型外殼，體積相比舊款縮小 20%，重量減輕 35%，功耗降低 35%。優(yōu)化運(yùn)算算法，抗氣泡能力大幅提升，流量測(cè)量穩(wěn)定；階躍響應(yīng)控制速度≤1.5 秒；提供針閥、夾管閥兩種閥類(lèi)型可選；接液材質(zhì) PFA/PTFE，高耐化學(xué)腐蝕；外殼 PVDF；滿(mǎn)足 RoHS 與 EMC EN 61326-1:2006 標(biāo)準(zhǔn)；支持 0-10V、4-20mA 模擬信號(hào)輸入輸出，帶流量異常接點(diǎn)報(bào)警輸出。

型號(hào)編碼規(guī)則

CLFC300-T12-501-D2-NH0

• CLFC300：系列型號(hào)

• T12：安裝 / 接口規(guī)格

• 501：流量量程

• D2：信號(hào)規(guī)格

• NH0：閥門(mén)類(lèi)型與配件

針閥款用于純水 / 藥液；夾管閥用于 CMP 漿料等易沉積流體。

參數(shù)表

用途

1. 半導(dǎo)體 DIW 去離子水、工藝藥液定量供給，管路流量穩(wěn)定控制；

2. 藥液稀釋配比，高精度濃度管理；

3. CMP 工藝漿料流體穩(wěn)定定量輸送，減少漿料浪費(fèi)；

4. 精細(xì)化工、制藥高純液體連續(xù)流量閉環(huán)控制。

使用說(shuō)明

1. 選型確認(rèn)：純水藥液選針閥；漿料、易沉淀流體選用夾管閥；確認(rèn)流量范圍、介質(zhì)壓力溫度。

2. 管路安裝：采用 Φ1/4 Pillar S300 或 Flare 接頭，管路無(wú)泄漏，盡量減少液體氣泡。

3. 電氣接線：連接多芯電纜，接入模擬量信號(hào)（4-20mA 或 0-10V），設(shè)置流量設(shè)定值。

4. 上電調(diào)試：執(zhí)行零點(diǎn)校準(zhǔn)，設(shè)定目標(biāo)流量，設(shè)備自動(dòng)閉環(huán)調(diào)節(jié)閥門(mén)，穩(wěn)定維持流量。

5. 監(jiān)控：流量異常時(shí)設(shè)備接點(diǎn)輸出報(bào)警；定期檢查管路氣泡、接頭腐蝕情況。

6. 注意：液體含大量氣泡會(huì)影響測(cè)量精度；流體參數(shù)需在 10~50℃、0.4MPa 以?xún)?nèi)使用。