日本 SANYU 電子顯微鏡樣品制備裝置 日本 SANYU 電子顯微鏡樣品制備裝置

4.1 產品性能

SC?701CT 快速碳蒸鍍儀專為碳蒸鍍工藝開發(fā)，采用閃蒸式蒸鍍法，實現(xiàn)無個體差異的均勻碳蒸鍍效果。省去每次作業(yè)切削碳棒的操作；設備搭載直連旋片式真空泵，可有效避免碳顆?；亓魑廴緲悠繁砻妫煌繉哟螖?shù)可自由設定，單次涂層僅 0.3 秒，制樣流程簡化，降低 SEM、EPMA 樣品前處理操作門檻，整機臺式輕量化，便于實驗室安放。

4.2 參數(shù)表

表格

項目規(guī)格

碳膜載臺卡匣式

電極1 組

涂層次數(shù)1 次～19 次（任意設置）

涂層時間0.3 秒 / 1 次

碳棒φ5mm SC?701CT 專用

腔體尺寸內徑 φ160mm × D160mm

蒸著電源12V / Max.70A

樣品交換方法前門開閉式

排氣裝置直連式旋片泵：100l/min（帶自動泄露）

設置電源AC100V 50/60Hz 15A

本體尺寸 (W/D/H)360/400/265mm

本體重量26kg

4.3 型號

產品完整型號：SC?701CT（QUICK CARBON COATER），日本 SANYU ELECTRON（三優(yōu)電子株式會社）旗下電子顯微鏡樣品制備裝置，專用 φ5mm 碳棒耗材。

4.4 用途

主要用于 SEM 掃描電鏡、EPMA 電子探針分析的樣品制備，完成樣品表面碳膜形成；面向材料實驗室、高?？蒲性核雽w、新材料檢測實驗室，對不導電樣品蒸鍍導電碳膜，滿足電鏡觀察與元素分析制樣需求。

4.5 使用說明

確認設備接入 AC100V 電源，檢查旋片泵狀態(tài)，確認 SC?701CT 專用 φ5mm 碳棒安裝到位；

打開前門，卡匣式載臺放置待處理樣品，關閉艙門；

設置涂層次數(shù)（1?19 次按需設定），單次涂層時間固定 0.3 秒；

啟動設備，真空泵抽真空，完成閃蒸式碳蒸鍍作業(yè)；

作業(yè)結束設備自動泄壓，開啟前門取出制備完成樣品；

定期檢查碳棒損耗，按需更換專用耗材碳棒，做好真空泵維護。

4.6 適用行業(yè)

高?？蒲袑嶒炇摇⒉牧蠙z測機構、半導體行業(yè)、新材料研發(fā)、金屬無機材料分析實驗室。