日本 Anelva 寬量程B?A 真空計測定球 日本 Anelva 寬量程B?A 真空計測定球

4.1 產(chǎn)品性能

MG?2 系列為金屬制小型 B?A 真空計測定球，體積僅為傳統(tǒng)產(chǎn)品約 1/20，解決傳統(tǒng)玻璃制規(guī)球易碎、體積大的痛點。靈敏度 0.045Pa?1，單支探頭可實現(xiàn)從超高真空到達(dá)壓力直至 1Pa 量級工藝壓力的連續(xù)測量。內(nèi)置 2 根燈絲，分銥釔涂層燈絲與鎢絲兩種材質(zhì)；燈絲功耗 2.3?2.5W，柵極除氣功耗 1.0W，采用柵極通電除氣方式；測定球容積約 12cc，整機 SUS304 不銹鋼本體，真空適配性優(yōu)異，安裝位置選擇靈活。

4.2 型號區(qū)分

表格

型號部件編號安裝形式壓力量程燈絲材質(zhì)

MG?28B1?0010?405φ15 O 型圈適配器13Pa ~10??Pa釔涂層銥絲

MG?2M8B1?0010?410φ18 O 型圈適配器13Pa ~10??Pa釔涂層銥絲

MG?2I/NW168G1?0505?480NW16 法蘭13Pa ~10??Pa釔涂層銥絲

MG?2I/NW258B1?0018?082NW25 法蘭13Pa ~10??Pa釔涂層銥絲

MG?2I/ICF348G1?0505?482φ34ICF 法蘭13Pa ~10??Pa釔涂層銥絲

MG?2I/ICF708B1?0018?045φ70ICF 法蘭13Pa ~10??Pa釔涂層銥絲

MG?2F8B1?0010?408φ70ICF 直連法蘭13Pa ~10??Pa釔涂層銥絲

MG?2WF8G1?0501?693φ15 適配器可焊接0.13Pa~10??Pa鎢絲

4.3 主要參數(shù)表

表格

項目規(guī)格

本體材質(zhì)SUS304 不銹鋼

靈敏度0.045 Pa?1

測定球容積約 12cc

燈絲功耗2.3W(MG?2/2M/2I/2F)；2.5W(MG?2WF)

柵極除氣功耗1.0W

除氣方式柵極通電除氣

安裝接口φ15、φ18 適配器；NW16/NW25；φ34ICF、φ70ICF

4.4 用途

主要應(yīng)用半導(dǎo)體設(shè)備、濺射鍍膜設(shè)備、真空熱處理、科研實驗腔體、各類高真空工藝設(shè)備；用于監(jiān)測腔體到達(dá)真空、工藝工作壓力，實現(xiàn) 1Pa 量級工藝壓力至超高真空區(qū)間壓力檢測。金屬結(jié)構(gòu)不易破碎，適配設(shè)備內(nèi)部狹小安裝空間。

4.5 使用說明

根據(jù)設(shè)備真空法蘭接口匹配對應(yīng)型號：O 型圈適配器選 MG?2/MG?2M；KF/NW 接口選 MG?2I/NW 系列；ICF 高真空法蘭選用 MG?2I/ICF、MG?2F；焊接需求選用 MG?2WF。

安裝：法蘭緊固到位，保證真空密封；O 型圈型號與適配器尺寸匹配，焊接款完成焊接后做檢漏。

通電使用：連接對應(yīng)真空計控制器，確認(rèn)燈絲供電參數(shù)；污染后使用柵極通電模式執(zhí)行除氣操作。

選型提示：MG?2WF 為鎢燈絲型號，量程上限 0.13Pa，需要注意與其他銥絲型號區(qū)分。

禁止磕碰本體，金屬測定球雖無玻璃破碎風(fēng)險，但內(nèi)部燈絲結(jié)構(gòu)精密，沖擊會造成燈絲損壞。

4.6 使用行業(yè)

半導(dǎo)體制造、真空鍍膜、材料科研實驗室、光學(xué)設(shè)備、真空熱處理、工業(yè)真空工藝設(shè)備。