日本 ANELVA 寬量程多通道電離真空計 日本 ANELVA 寬量程多通道電離真空計

產(chǎn)品性能

M?431HG 是微型真空規(guī)專用的電離真空計控制電源，數(shù)字顯示，測量量程自動切換。標配 RS?232C 通訊接口與外部 I/O 輸入輸出，支持遠程完成燈絲啟停、脫氣、量程鎖定等操作；采用寬電壓電源適配，設(shè)備自帶 2 點帶滯回設(shè)定輸出，D/A 模擬輸出 0?10V，支持 Log / 復(fù)合輸出切換。具備燈絲耗材保護機制，高壓力工況自動關(guān)閉燈絲，柵極通電加熱脫氣，脫氣定時 3 分鐘，整機滿足 CE、RoHS 合規(guī)要求，機架式結(jié)構(gòu)便于機柜集成。

型號

型號：M?431HG

品牌：Canon?ANELVA 佳能安內(nèi)爾巴

備注：標準配置不含真空測量規(guī)球以及連接電纜，需另行選配。

參數(shù)表

表格

項目參數(shù)

壓力顯示范圍0.01×10??～13.2×10?Pa

壓力表示數(shù)字，測量范圍自動切換

設(shè)定值2 點標準配置（帶滯后）

D/A 輸出Log 或復(fù)合輸出切換（0～10V）

模擬輸出0～10 V（APC 對應(yīng)出力）

外部控制輸入燈絲 ON/OFF、參數(shù)鎖定，燈絲切換、脫氣 ON/OFF、范圍保持

外部控制輸出設(shè)定點 1、2，燈絲 ON/OFF 狀態(tài)，脫氣狀態(tài)，絲材 1/2 狀態(tài)

通信功能RS232C 標準 (9600、4800、2400、1200bps)

外形尺寸104W×99H×296D mm，重量 1.2Kg

功耗50 VA AC90?240V 50/60Hz

發(fā)射電流10μA、100μA、1mA（自動切換 / 固定）

脫氣方式柵極通電加熱，通電定時 3 分鐘

燈絲切換面板按鍵、遠程 I/O 兩種操作方式

耗材保護13.3×10?Pa 模式下燈絲自動關(guān)閉

合規(guī)CE 認證、RoHS

用途

自動化真空裝置的壓力測定

濺射等工藝過程壓力測量與控制

多腔體真空系統(tǒng)壓力監(jiān)測

各類通用工業(yè)真空設(shè)備真空度檢測

適用行業(yè)：半導(dǎo)體、鍍膜、材料研發(fā)、實驗室真空設(shè)備、工藝設(shè)備集成。

使用說明

安裝：設(shè)備為機架式模塊，安裝于標準機柜，確認通風(fēng)散熱空間，接入 AC90?240V 寬電壓電源。

接線：連接配套真空規(guī)管以及通訊線纜，RS232 接口對接上位機，外部 I/O 接線完成遠程信號對接。

開機：接通電源，設(shè)備初始化，確認燈絲狀態(tài)；可本地按鍵操作，也可通過上位機通訊、外部 I/O 遠程控制。

測量：設(shè)備自動切換測量量程，實時顯示真空壓力；設(shè)置 SP1、SP2 兩組閾值，輸出開關(guān)信號聯(lián)動外部設(shè)備。

脫氣操作：可本地或遠程啟動?xùn)艠O脫氣，脫氣自動計時 3 分鐘結(jié)束；高壓力條件設(shè)備會自動關(guān)閉燈絲，保護耗材。

維護：規(guī)球?qū)儆谙募?，定期檢查更換；設(shè)備本體避免粉塵、腐蝕性氣體侵入。