日本 ANELVA 寬量程多通道電離真空計ANELVA M?431HG 為微型真空規(guī)專用真空計控制電源,搭載 RS?232C 通信與外部輸入輸出接口,支持寬電壓輸入,符合 CE、RoHS 標準。量程覆蓋 0.01×10??~13.2×10?Pa,具備遠程控制、兩點設(shè)定輸出功能,多用于自動化真空設(shè)備、濺射工藝、多腔體系統(tǒng)的真空壓力檢測。
日本 ANELVA 寬量程多通道電離真空計 日本 ANELVA 寬量程多通道電離真空計
產(chǎn)品性能
M?431HG 是微型真空規(guī)專用的電離真空計控制電源,數(shù)字顯示,測量量程自動切換。標配 RS?232C 通訊接口與外部 I/O 輸入輸出,支持遠程完成燈絲啟停、脫氣、量程鎖定等操作;采用寬電壓電源適配,設(shè)備自帶 2 點帶滯回設(shè)定輸出,D/A 模擬輸出 0?10V,支持 Log / 復(fù)合輸出切換。具備燈絲耗材保護機制,高壓力工況自動關(guān)閉燈絲,柵極通電加熱脫氣,脫氣定時 3 分鐘,整機滿足 CE、RoHS 合規(guī)要求,機架式結(jié)構(gòu)便于機柜集成。
型號
型號:M?431HG
品牌:Canon?ANELVA 佳能安內(nèi)爾巴
備注:標準配置不含真空測量規(guī)球以及連接電纜,需另行選配。
參數(shù)表
表格
項目參數(shù)
壓力顯示范圍0.01×10??~13.2×10?Pa
壓力表示數(shù)字,測量范圍自動切換
設(shè)定值2 點標準配置(帶滯后)
D/A 輸出Log 或復(fù)合輸出切換(0~10V)
模擬輸出0~10 V(APC 對應(yīng)出力)
外部控制輸入燈絲 ON/OFF、參數(shù)鎖定,燈絲切換、脫氣 ON/OFF、范圍保持
外部控制輸出設(shè)定點 1、2,燈絲 ON/OFF 狀態(tài),脫氣狀態(tài),絲材 1/2 狀態(tài)
通信功能RS232C 標準 (9600、4800、2400、1200bps)
外形尺寸104W×99H×296D mm,重量 1.2Kg
功耗50 VA AC90?240V 50/60Hz
發(fā)射電流10μA、100μA、1mA(自動切換 / 固定)
脫氣方式柵極通電加熱,通電定時 3 分鐘
燈絲切換面板按鍵、遠程 I/O 兩種操作方式
耗材保護13.3×10?Pa 模式下燈絲自動關(guān)閉
合規(guī)CE 認證、RoHS
用途
自動化真空裝置的壓力測定
濺射等工藝過程壓力測量與控制
多腔體真空系統(tǒng)壓力監(jiān)測
各類通用工業(yè)真空設(shè)備真空度檢測
適用行業(yè):半導(dǎo)體、鍍膜、材料研發(fā)、實驗室真空設(shè)備、工藝設(shè)備集成。
使用說明
安裝:設(shè)備為機架式模塊,安裝于標準機柜,確認通風(fēng)散熱空間,接入 AC90?240V 寬電壓電源。
接線:連接配套真空規(guī)管以及通訊線纜,RS232 接口對接上位機,外部 I/O 接線完成遠程信號對接。
開機:接通電源,設(shè)備初始化,確認燈絲狀態(tài);可本地按鍵操作,也可通過上位機通訊、外部 I/O 遠程控制。
測量:設(shè)備自動切換測量量程,實時顯示真空壓力;設(shè)置 SP1、SP2 兩組閾值,輸出開關(guān)信號聯(lián)動外部設(shè)備。
脫氣操作:可本地或遠程啟動?xùn)艠O脫氣,脫氣自動計時 3 分鐘結(jié)束;高壓力條件設(shè)備會自動關(guān)閉燈絲,保護耗材。
維護:規(guī)球?qū)儆谙募?,定期檢查更換;設(shè)備本體避免粉塵、腐蝕性氣體侵入。
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