1、產(chǎn)品應(yīng)用
通過和CAM進(jìn)行比較，對曝光使用的底片進(jìn)行光學(xué)缺陷的檢測

2、產(chǎn)品規(guī)格
板件尺寸：26″×31″（660×760mm）
檢測速度：90秒 （菲林尺寸：16″*22″、最小線寬2mil條件下）
線寬線距：1.4mil（36um）
缺陷類型：開路、短路、缺口、毛刺、針孔、尺寸違規(guī)、位置違規(guī)、孤立點(diǎn)
適用底片：銀鹽片/重氮片/鍍鉻玻璃

3、產(chǎn)品特點(diǎn)
檢測精度高，可檢測最小線寬20%缺陷
線陣相機(jī)的高掃描速率，cam切換時間較短
設(shè)備操作簡便，便于現(xiàn)場人員迅速上手
關(guān)鍵部件國外進(jìn)口，保證設(shè)備穩(wěn)定性