尺寸小巧;
埃米級(jí)分辨率;
有1、2或3通道可配電渦流探頭;
可配13種電渦流探頭;
工作溫度:0~70oC(補(bǔ)償范圍15~55oC) 符合CE和RoHS標(biāo)準(zhǔn);
輸出負(fù)載電流<20mA(有短路和過載保護(hù));
供電電壓:15~30V,<50ma(有容錯(cuò)保護(hù)、短路保護(hù))。
光學(xué)平臺(tái)位置測(cè)量、半導(dǎo)體和光器件的研磨、半導(dǎo)體模板對(duì)齊系統(tǒng)、蒸鍍系統(tǒng)、電子顯微鏡垂直軸定位、原子顯微鏡垂直軸定位、磁懸浮軸控制、部件研磨加工的精確定位、鏡片控制、物質(zhì)收縮測(cè)試測(cè)量、機(jī)械結(jié)構(gòu)變形探測(cè)與測(cè)試。
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