等離子廢氣處理設(shè)備的工作原理：是通過氣體放電所產(chǎn)生的高活性粒子與污染物分子發(fā)生碰撞，使其解離和氧化，從而達到廢氣凈化的目的。低溫等離子體技術(shù)被較為廣泛的應(yīng)用于低濃度含VOCs廢氣和惡臭異味氣體的處理。工程實踐表明，該技術(shù)對于低濃度的含VOCs廢氣(一般宜低于300mg/m3)和惡臭異味氣體具有較好的凈化效果。

設(shè)備反應(yīng)過程中能量的傳遞大致如下：

(1)電場+電子→高能電子

(2)高能電子+分子(或原子)→(受激原子、受激基團、游離基團)活性基團

(3)活性基團+分子(原子)→生成物+熱

(4)活性基團+活性基團→生成物+熱

等離子凈化器功能特點：

1.具有一次性凈化效率高，能同時凈化多種污染物;

2.防火性能采用開關(guān)，電源，電路三重自動保護，凈化功能，無須專人看管;

3.設(shè)備體積小，結(jié)構(gòu)緊湊，工藝成熟;

4.設(shè)備投資少，運行成本低;

5.穩(wěn)定，維護方便，使用壽命長;

6.凈化效率高，無二次污染。

等離子廢氣處理設(shè)備是繼固態(tài)、液態(tài)、氣態(tài)之后的物質(zhì)第四態(tài)，當外加電壓達到氣體的放電電壓時，氣體被擊穿，產(chǎn)生包括電子、各種離子、原子和自由基在內(nèi)的混合體。放電過程中雖然電子溫度很高，但重粒子溫度很低，整個體系呈現(xiàn)低溫狀態(tài)，所以稱為低溫等離子體。

等離子體降解污染物是利用這些電子、自由基等活性粒子和廢氣中的污染物作用，使污染物分子在短的時間內(nèi)發(fā)生分解，并發(fā)生后續(xù)的各種反應(yīng)以達到降解污染物的目的。（注：低溫等離子體相對于高溫等離子體而言，屬于常溫運行。）

等離子體反應(yīng)區(qū)富含物質(zhì)，如電子、離子、自由基和激發(fā)態(tài)分子等，廢氣中的污染物質(zhì)可與這些具有較量的物質(zhì)發(fā)生反應(yīng)，使污染物質(zhì)在短的時間內(nèi)發(fā)生分解，并發(fā)生后續(xù)的各種反應(yīng)以達到降解污染物的目的。