一、概述

多晶硅項(xiàng)目生產(chǎn)過程中產(chǎn)生的含氯有機(jī)廢液，廢液經(jīng)焚燒爐充分燃燒，焚燒產(chǎn)生的煙氣經(jīng)余熱鍋爐回收熱能并經(jīng)過除塵脫酸處理后排放到大氣，同時(shí)還可以回收高濃度的溶液；含氟項(xiàng)目生產(chǎn)過程中產(chǎn)生的含氟有機(jī)廢液，廢液經(jīng)焚燒爐充分燃燒，焚燒產(chǎn)生的煙氣經(jīng)余熱鍋爐回收熱能并經(jīng)過除塵脫酸處理后排放到大氣，同時(shí)還可以回收高濃度的溶液。

二、工藝流程簡(jiǎn)圖

三、特點(diǎn)：

1、焚燒爐本體采用立式爐結(jié)構(gòu)，可以減少爐本體的占地面積，同臥式爐相比，立式爐結(jié)構(gòu)改變了耐火材料的受力狀況，避免了耐火材料在高溫情況下可能出現(xiàn)的爆裂和坍塌現(xiàn)象。

2、焚燒爐本體采用立式爐結(jié)構(gòu)，底部設(shè)有沉降室，使得焚燒過程中產(chǎn)生的部分SiO2等粉塵能夠在爐本體內(nèi)收集，減少煙氣帶出的粉塵量，減少后續(xù)設(shè)備的壓力。

3、爐體燃燒根據(jù)3T1E（溫度、時(shí)間、渦流、過剩系數(shù)）原則設(shè)計(jì)，確保廢液在爐本體燃燒室內(nèi)充分氧化、熱解、燃燒，使有機(jī)物破壞去除率達(dá)到99.99%以上

4、廢液和助燃空氣在焚燒爐內(nèi)切向混合，其混合程度好、湍流度高、燃燒速度及效率，過?？諝庀禂?shù)低，可節(jié)約燃料。

5、爐體整體溫度分布為低-高-低，頂部燃燒陶瓷部處于相對(duì)低溫部800℃左右可較好地保護(hù)各個(gè)燒嘴。延長(zhǎng)燒嘴使用壽命。

6、安全性高-設(shè)有啟動(dòng)前不排除易爆氣體就不能點(diǎn)火的功能，以防氣爆，爐內(nèi)設(shè)有火焰檢知器，一旦爐內(nèi)發(fā)生熄火或點(diǎn)火失敗，立即自動(dòng)切斷廢液供給，報(bào)警系統(tǒng)，安全可靠。

7、為確保系統(tǒng)安全，在爐體內(nèi)設(shè)有度明燈性質(zhì)的小型燃燒器，避免廢液進(jìn)料時(shí)因可能出現(xiàn)的不穩(wěn)定，而產(chǎn)生突然熄火，后又起火的現(xiàn)象，杜絕氣爆現(xiàn)象發(fā)生。

8、所有進(jìn)料管路設(shè)有氮?dú)獯祾呦到y(tǒng)確保整個(gè)系統(tǒng)不殘留可燃?xì)怏w，確保系統(tǒng)安全。

9、采用多項(xiàng)技術(shù)，使設(shè)備簡(jiǎn)化，易于維修，并降低了運(yùn)行成本。

10、充分考慮廢液焚燒后的廢熱利用，可產(chǎn)生蒸汽供生產(chǎn)使用。

11、充分考慮廢液焚燒后回收高濃度的酸溶液（濃度可達(dá)20%-25%）

12、同時(shí)可以處理含氯（氟）廢氣。

四、適用范圍：

1、多晶硅項(xiàng)目及其他含氯有機(jī)物生產(chǎn)項(xiàng)目；

2、氟化工及其他含氟有機(jī)物生產(chǎn)項(xiàng)目。