產(chǎn)品簡介
MFC800系列氣體質(zhì)量流量控制器
產(chǎn)品概述
MFC800系列氣體質(zhì)量流量控制器，為工業(yè)和科學(xué)研究領(lǐng)域長期可靠工作而設(shè)計。利用熱擴散原理及PID控制原理，測量和控制小管道的氣體質(zhì)量流量輸出，不需要溫度和壓力補償。以性能可靠、安裝方便和價格合理得以大量應(yīng)用。
產(chǎn)品特點
☆用于多種氣體質(zhì)量流量控制，如CO,Ar,CF4,O2,N2,H2,C2H4,C2F6,NF3,SIF4等
☆測量范圍：從0-5sccm 至 0-1500slm
☆精度：1.0%F.S.
☆量程比：最小100:1
☆重復(fù)性：0.25%
☆響應(yīng)時間：1.0S
☆過程溫度：0-50℃
☆過程壓力：0-8MPa
☆供電：24VDC
☆輸出：0-5V,4-20mA,RS232
☆管道材質(zhì)：316L
☆連接標準：1/4英寸，3/8英寸，1/2英寸，3/4英寸
產(chǎn)品應(yīng)用
l 實驗室，泄漏檢測
l 醫(yī)學(xué)，氣體合成
l 科學(xué)研究，過程控制
l 制藥，半導(dǎo)體工業(yè)
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