該方法使用高頻電感耦合等離子體作為光源，非常適用于溶液樣品的分析。由于近些年樣品分析數量和元素分析種類的增加，ICP以其速度和精準度受到了高度關注。在JIS、ISO標準和日本水供應法中，ICP作為標準分析方法被廣泛采用。該儀器可以同時測定痕量元素和高含量元素，既可以用于研發(fā)，也可以用于產品控制的自動分析和環(huán)境領域水質監(jiān)測。