GSL-1700X-SPC-2是一款小型臺式程序控溫蒸發(fā)鍍膜儀，可以設(shè)定程序，精確控制溫度200oC~1500oC（或者1200oC~1700oC），可蒸鍍直徑2英寸薄膜樣品，樣品臺可旋轉(zhuǎn)以獲得更均勻的薄膜，可制備各種金屬薄膜和有機物薄膜。
| 技術(shù)參數(shù) | |||||
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| 結(jié)構(gòu)＆特點 |
● 真空腔體為直徑6英寸的石英腔體，便于清潔和放入樣品 ● 安裝有一個2英寸的樣品臺，并且樣品臺可以旋轉(zhuǎn)，使所制薄膜更加均勻 ● 采用鎢絲籃作為發(fā)熱源，溫度可達到1500℃，并且配用專用氧化鋁舟，可裝入樣品 ● 精確控溫：可設(shè)置30段升降溫程序，控溫精度為+/-1℃ ● 氣體流量端口和閥門內(nèi)置用于腔室凈化和CVD可能性
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| 基本參數(shù) |
● 溫度：1500℃ （1200℃以上＜1h） ● 建議升溫速率：≤20℃/ min （需根據(jù)工藝調(diào)整） ● 熱偶：B型或者S型熱偶 ● 電源：AC220V，50Hz 6KW
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| 溫控及加熱源 |
● 采用鎢絲籃作為發(fā)熱源，并且配有專用的氧化鋁坩堝，熱電偶安裝在坩堝底部，以便于溫度測量和控制（如圖1） ● 采用S型熱電偶（工作溫度為200℃-1500℃） ● 可選B型熱電偶（工作溫度為1200℃-1700℃） ● 安裝有一個數(shù)顯的溫度控制器：可設(shè)置30段升降溫程序，控溫精度為+/- 1oC（如圖2） ● 溫度控制器的時間設(shè)置以秒為單位，建議將升溫/降溫速率限制在1200oC以下0.3oC/s（20oC/ min），在1200 - 1500oC限制到0.15oC/s（10oC/min） ● 儀器中配有鎢絲籃及氧化鋁坩堝（如圖4圖5）
圖1 圖2 圖3 圖4 圖5
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| 樣品臺 |
● 儀器頂部安裝有樣品臺，直徑為Φ50mm，并設(shè)置有擋板，方便控制蒸發(fā)鍍膜時間 ● 樣品臺可旋轉(zhuǎn)，增加鍍膜均勻性 ● 樣品臺和蒸發(fā)源之間的距離可以調(diào)節(jié)，調(diào)節(jié)范圍為：40mm-85mm
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| 進氣口 |
● 進氣接口為1/4NPS，可向真空腔體中通入惰性氣體，對腔體進行清洗，也可通入反應(yīng)氣體，進行反應(yīng)蒸發(fā)鍍膜 ● 進氣口安裝有一針閥，用于調(diào)節(jié)進氣流量
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| 可選 |
● 程序控溫型四坩堝蒸發(fā)鍍膜儀-GSL-1700X-EV4（圖一） ● 儀器中配有鎢絲籃及氧化鋁坩堝，并用戶可額外選購鎢絲籃及氧化鋁坩堝（圖二圖三）
圖1 圖2 圖3
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| 真空計（可選） |
● 可選購一數(shù)顯防腐真空計，測量范圍為：3.8x10-5-1125Torr
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| 膜厚檢測儀（可選） |
● 可在本公司選購精密的石英振動薄膜測厚儀安裝在濺射儀上，可實時監(jiān)測薄膜的厚度，分辨率為0.10 ? （圖一） ● LED顯示屏顯示，同時也輸入所制作薄膜的相關(guān)數(shù)據(jù)（圖二） ● 同時可選購反射光譜薄膜測厚儀--TFMS-LD（圖三）
圖1 圖2 圖3
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| 真空系統(tǒng)（選配） |
● 設(shè)備上有一KF25接口用于連接真空泵 ● 采用渦旋分子泵真空可達1.0E-5Torr，極限真空度可達4.0E-6Torr ● 雙極旋片真空泵或干泵，可使儀器真空腔體的真空度達到10-2Torr ● 真空度達到10-2torr時，可蒸發(fā)一些貴金屬，參考材料金和鉑，也可蒸發(fā)一些有機材料，可選購數(shù)顯防腐真空計PCG-554(測量范圍3.8x10-5 to 1125 Torr.) ● 高真空度可達1.0E-5Torr（采用渦旋分子泵），此時可蒸發(fā)對氧敏感的材料，參考材料Al. Mg, Li，分子泵上帶有復(fù)合真空計（可測量真空度為1.0E-7Torr） ● 可在本公司選購各種真空泵和真空計
● 可選購一個冷真空阱，以避免真空泵造成污染
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| 外形尺寸 |
● 490mm*330mm*560mm
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| 質(zhì)量認證 | ● 所有電器元件（>24V）都通過UL/MET/CSA/CE認證，若客戶出認證費用，本公司保證單臺設(shè)備通過德國TUV認證或CAS認證。
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| 質(zhì)保期 |
一年保修，終身技術(shù)支持 特別提示：1.耗材部分如加熱元件，石英管，樣品坩堝等不包含在內(nèi) 2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)
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| 使用提示 |
● 為了獲得高真空度，可采用以下做法 （1）使用前要檢查密封圈和法蘭上是否有異物或劃痕，并用酒精擦洗 （2）抽真空時，用外部加熱裝置將腔體烘烤到200℃，氧化鋁坩堝預(yù)加熱到500℃，保持2小時 ● 此款蒸鍍儀可以放入到手套箱里操作，用于蒸鍍一些在常溫下對氧氣敏感的材料，比如金屬Li等，可在本公司選購開啟式手套箱VGB-6（點擊下圖查看詳情）
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| 使用注意事項 |
● 使用溫度高于1300℃時，保溫時間不可大于1小時，否則會損壞密封圈 ● 當腔體的各閥門關(guān)閉時，請勿開啟升溫程序或手動調(diào)節(jié)電流進行加熱 ● 當儀器正在蒸發(fā)材料時，不可打開泄氣閥或關(guān)閉真空泵，只有當加熱溫度降至100℃時，才可放氣或關(guān)閉真空泵 ● 蒸鍍電流不宜大于40A ● 如誤將控溫儀表設(shè)為手動狀態(tài)，程序?qū)⒉荒苷＿\行 ● 此設(shè)備儀表程序為秒，200℃之前升溫速度不宜大于0.5℃/S 如果用戶選購了STC-2型薄膜測厚儀，在選用取樣片時請按：鍍純金屬時用金取樣片，鍍合金時用銀取樣片 ● 鎢絲籃必須在真空狀態(tài)下（＜5Pa才能通電加熱，否則會被氧化） | ||||
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