| 設(shè)備名稱 | 三靶射頻磁控濺射鍍膜儀--VTC-3RF （2019.5.27--科晶實(shí)驗(yàn)室審核） |
| 產(chǎn)品提示 | 1、多種配件可選提示 2、特殊設(shè)備尺寸設(shè)備 3、科晶實(shí)驗(yàn)室邀請(qǐng)?zhí)崾?/span> 4、配件妥善保管提示 |
| 主要特點(diǎn) | ·標(biāo)配的石英腔體（也可選配金屬腔體）方便觀察（圖1） ·相比傳統(tǒng)濺射儀，體積小巧，拆裝方便（圖2） ·模塊化設(shè)計(jì)，靶頭，電源等多種可選，自由DIY（圖3） ·基臺(tái)可旋轉(zhuǎn)可加熱 ·可濺射金屬和氧化物。實(shí)驗(yàn)室已初步制備了 氧化鋅、碲化鉍、ITO、ATO、AU、Ag、Cu、Al、Mg、Sc等薄膜。 圖一 圖二 圖三 |
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| 基本參數(shù) | 1、輸入電源：220V AC50/60Hz 2、設(shè)備功率：<> 3、靶臺(tái)加熱溫度：500℃ 4、樣品臺(tái)轉(zhuǎn)速：0-10r/min 5、靶頭可調(diào)傾角：0-25度 6、濺射腔體尺寸：278mm OD x 272mm ID x310mm H。 7、靶材尺寸要求：1英寸磁控濺射靶頭Φ25.4mm ×（0.1-3）mm(厚度） 2英寸磁控濺射靶頭Φ50mm ×（0.1-3）mm(厚度) 8、使用功率：1英寸磁控濺射靶頭100W 2英寸磁控濺射靶頭300W 更多參數(shù)請(qǐng)聯(lián)系科晶銷售部 |
| 機(jī)體結(jié)構(gòu) | ·設(shè)備配備三個(gè)直流射頻通用靶頭，1英寸2英寸尺寸可選。 ·儀器中安裝有直徑為50mm的不銹鋼可旋轉(zhuǎn)樣品臺(tái)，加熱溫度是500℃（圖1） ·配有300W自動(dòng)匹配射頻電源和500W的直流濺射電源（可自由選擇）（圖2） ·設(shè)備上配1/4英寸進(jìn)氣口方便連接氣瓶（圖3） ·配有靶頭電動(dòng)升降臺(tái)（圖4） ·配有高純石英密封罩（圖5） 圖一 圖二 圖三 圖四 圖五 |
| 產(chǎn)品外形及尺寸 | 700mm L x 770 mm W x 1900 mm H
凈重：80 kg（不包括泵）
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| 質(zhì)量認(rèn)證 | CE認(rèn)證 |
| 質(zhì)保 | 一年保修，終身技術(shù)支持。 1.耗材部分如加熱元件，石英管，樣品坩堝等不包含在內(nèi)。 2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)
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北京壯仕科技有限公司是一家代理、經(jīng)銷國內(nèi)外分析儀器、環(huán)保儀器、生命科學(xué)儀器、電化學(xué)儀器設(shè)備及耗材、實(shí)驗(yàn)室常規(guī)設(shè)備、生化試劑耗材以及玻璃儀器的專業(yè)公司。本著“以質(zhì)量為依托，靠服務(wù)求生存”的宗旨，進(jìn)行科學(xué)管理，不僅為客戶提供高品質(zhì)的分析儀器，更致力于為所有客戶提供完整的解決方案。從度身定制產(chǎn)品，專業(yè)技術(shù)支持，到*的售后服務(wù)，令所有的客戶稱心滿意。
公司人員均是北京各大高校的畢業(yè)生，立足于高校，利用自身日常使用儀器的一些知識(shí)為更多用戶提供優(yōu)質(zhì)的服務(wù)。
公司在電化學(xué)領(lǐng)域，依托與北京理工大學(xué)環(huán)境能源中心，不斷加強(qiáng)與清華大學(xué)、北京科技大學(xué)、北京化工大學(xué)、北京大學(xué)、物理所、哈爾濱工業(yè)大學(xué)、鼎能開源、有色金屬研究總院、機(jī)電研究院等高校及研究所的合作。
通過與電化學(xué)領(lǐng)域的廠家，包括上海辰華(CHI系列電化學(xué)產(chǎn)品)、科晶集團(tuán)(MTI鋰離子電池實(shí)驗(yàn)室加工設(shè)備、管式爐、箱式爐、磨拋設(shè)備)、武漢藍(lán)電(LAND電池測試設(shè)備)、PINE旋轉(zhuǎn)圓盤電極、Arbin電化學(xué)測試系統(tǒng)等的合作，不斷為廣大電化學(xué)研究者提供面、穎的研究設(shè)備和質(zhì)的服務(wù)。
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