PCE-6小型等離子清洗機(jī)的等離子腔體為 Φ160mm×190mm的石英腔體，采用的射頻電源功率3.0MHz（1%），輸出功率7.2W、10.2W、29.6W三檔可調(diào)。本機(jī)主要是通過空氣、氧氣或氬氣等氣體的等離子體來去除基片上的氧化層和污染物，同時(shí)也可改變物體表面的性質(zhì)（如親水和疏水性等），對(duì)于基片的清洗以及薄膜處理是較為理想的設(shè)備。
| 功能特點(diǎn) |
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- 擁有6英寸清洗腔室，可清洗約5英寸直徑的基片
- 通過控制面板的按鍵及開關(guān)，可控制調(diào)節(jié)射頻功率、真空泵的開閉、清洗時(shí)間
- 時(shí)間、功率、真空度等信息顯示在一組4位數(shù)碼管上
- 設(shè)有一個(gè)三通閥，可大體控制進(jìn)氣流量
| 技術(shù)參數(shù) | |
|---|---|
| 主要參數(shù) |
● 輸出功率：7.2W、10.2W、29.6W ● 總功率：<600w> ● 射頻頻率：3.0MHz，功率3檔可手動(dòng)調(diào)節(jié) ● 電源：AC220V 50Hz ●
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| 等離子腔體 |
● 高純石英腔體，Φ160mm×190mm，采用鋁制折疊式法蘭進(jìn)行密封，法蘭上設(shè)有Φ45mm 的觀察窗 ● 帶觀察窗的鉸鏈?zhǔn)介T，便于樣品加載和觀察 ●
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| 控制面板 |
● 控制功能：清潔時(shí)間，射頻功率，真空泵。 ●
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| 真空泵（標(biāo)配） |
● 真空泵：24L/min，直連式雙旋真空泵 ●
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| 等離子清洗機(jī)及刻蝕的方法 |
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| 惰性氣體 |
● 通入氣體：可通入多種氣體來產(chǎn)生等離子，如N2、Ar、H2、O2、Air和混合氣體等（根據(jù)材料性質(zhì)選定） ● 等離子清洗機(jī)不得使用易燃及腐蝕性氣體
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| 可選配件 |
● 如果需要一個(gè)通入兩種氣體的工藝解決方案，PCE-6等離子清洗機(jī)可以與2路混氣系統(tǒng)組合 ● 您可以訂購(gòu)石英晶片載體來盛放清潔的基片 ●
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| 外形尺寸 |
400mm×300mm×300mm
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| 凈重 |
10.2kg
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| 認(rèn)證 |
CE認(rèn)證
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| 質(zhì)保期 |
● 一年保修，終身技術(shù)支持。 ● 特別提示：1.耗材部分如加熱元件，石英管，樣品坩堝等不包含在內(nèi)。 2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。 ● 點(diǎn)擊查看售后服務(wù)承諾書。 |
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